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摘要 IWveW8qJ psC
mbN 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 ^;maotHn o{EC&- ~L_hZso4 建模任务 'd&0Js$^ 6,LubZFD @qjfZH@ 结果 Da:unVbU HXYRH ^Q ps>A( 结果 ,4,V4 N f1)x5N M=*bh5t%] 结果 ,H2D v-Fg
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