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摘要 :tclYX UMsJg7~ 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 4DaLt&1 >t_5(K4 /KDKA) 建模任务 vAZc.=+ > M6J~%qF^ K(P24Z\# 结果 ktX\{g! U h:{rjXK
j} ^?3< 结果 %Wy$m?gD B:5\+_a! OxGKtnAjf 结果 Q;A1&UA2 h!l&S2)D` )EQWc0iKG 文件信息 qRk&b F/ tKtKW5n~ t"[x x_i
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