切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1057阅读
    • 0回复

    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5754
    光币
    22922
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 %G>|u/:U  
    h1uD>heGl  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 A[.5Bi  
     0Fi&7%  
    {cF >, T  
    建模任务 qf qp}g\  
    <78LB/:  
    6opu bI<  
    结果 Q8sCI An{  
    NA`EG,2  
    Y><")%Q  
    结果 /|. |y S9  
    9v2(cpZ  
    r31H Zx1^  
    结果 te b~KM  
    8*V8B=q}K  
    nPj/C7j  
    文件信息 $*u{i4b  
    VN1a\  
    .+"SDt oX  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表