切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1014阅读
    • 0回复

    [推荐]用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    5658
    光币
    22442
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-29
    摘要 H : T N  
    xe6_RO%  
    在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 IjDT'p_  
     &6t3SZV  
    q^N0abzgP  
    建模任务 -N7xO)  
    |#&V:GZp  
    M[K0t>ih  
    结果 ]`@]<6  
    '>e79f-O)  
    ^V: "zzn&  
    结果 '8l yj&  
    Sn(l$wk=  
    R#/?AD&  
    结果 c3V]'~  
    Cfr<D3&,]  
    9si}WqAw  
    文件信息 \o B'  
    X7H'Uk9:  
    8Z dUPW\e  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表