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摘要 6=ukR=]v )$18a 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 7A7=~:l\G 1J8okBhZ
?.E ixGzI^ _TF\y@hF*D 建模任务 ,E&PIbDL1 Wi a%rm
7;cb^fi/ lMpjE 结果 bWc3a HJFt{tq2 K-D{Z7J^l AvW2)+6G 文件信息 .j*muDVQn 4;G:.k!K
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