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摘要 u<j;+-]8h &D<6Go/)_* 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 SX,$$43 @@ j\OR vhMoCLb rDl/R^w" 建模任务 Boj R" ybpOk CUDA<Fm [kJ;Uxncz~ 结果 OX,em Ti dPO"8HQ i59}6u_f F=5+JjrX 文件信息 YM#'+wl}` n)N!6u <hzHrx'o{ c,#=In2 "d}']M?-h QQ:2987619807 Mn5(Kw?o2J
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