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摘要 <]M.K3> `Zm6e!dH- 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 LnI @a?7D;+< (O5Yd 6u :lcq3iFn 建模任务 Gs,:$Im \:WWrY8& Dp
](?Yr PC#^L$cg} 结果 IT_I.5*A2 ,|({[9jA 9qB0F_xl &Vz$0{d5 文件信息 dz] 5s %M@K(Qu `GCoi ?n7 rGyAzL] YB5"i9T2 QQ:2987619807 6QX m]<
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