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摘要 )ty
*_@N0 51`w.ri 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 ~J)4 (411 )_+" v7O{8K+ y>2v 9;Qp 建模任务 [lS'GszA M(Jf&h4b PZLW yp .^@+$} 结果 4}580mBc >~BU<# SZG8@ !_}7 9<7Q { 文件信息 b_V)]>v+ FD|R4 V*3 1{o
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