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摘要 {*;K>%r\o $J4)z&%dr 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 H{*rV>% jcC"vr'u| jjrE8[ Kf?:dF 建模任务 Xtz29 K:13t| jc3Q3Th/zn CY=lN5!J 结果 M:.+^.h rPr]f; <^$ppwk$ 'PrBa[% 文件信息 hKg +A b*tb$F R:l &2 q`8
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