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摘要 zg|yW6l)9 S.M< ( 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 !tX14O~B- x$6-7<p `p'L3u5H- oLB pG1Va 建模任务 r\_aux^z kZf7 x"_f$,:! .hZ =8y9 结果 a?Q~C<k ,cgC_% *1%=?:$(r6 ,CwhpW\Y 文件信息 ZYu^Q6b3 %3"3OOT7 c( gUH zXZy:SD QDxL y aL QQ:2987619807 p|Z"<
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