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摘要 3<=,1 cU j.~!dh$mg 扫描干涉法是实现表面高度测量的技术。通过利用白色光源的低相干性,只有当光程差在相干长度内,干涉图案才会出现。因此,它使精确微观测量成为可能。使用一个氙灯搭建了一个迈克耳孙干涉仪,用于测量具有平滑变化前表面的样品。 ^2d!*W| -U~
G)#$]diNuX 65z" 建模任务 Y^Nuz/ waX>0e
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(* 结果 K]/4qH$: 6-`|:[Q~ =/<LSeLxH T +5X0 Nv 文件信息 R(.}C)q3 IcP)FB4
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