切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1834阅读
    • 2回复

    [分享]超高精度面形干涉检测技术进展 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线ka2012
    技术专家
     
    发帖
    1570
    光币
    14524
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-14
    关键词： 精度面形干涉
    深紫外、极紫外光刻、先进光源等现代光学工程牵引驱动超精密光学技术持续发展，超精密光学制造要求与之精度相匹配的超高精度检测技术。作为核心技术指标之一的面形精度通常要求达到纳米、深亚纳米甚至几十皮米量级，超高精度面形干涉检测技术挑战技术极限，具有重要研究意义和应用价值。本文分析了面形干涉检测技术发展趋势，主要介绍了中国科学院光电技术研究所近年来在超高精度面形干涉检测技术相关研究进展。
    附件: 超高精度面形干涉检测技术进展.rar (2192 K) 下载次数:20 ，售价:2光币[记录]
    共1条评分 ，光币+5
    200833 光币 +5 - 2020-09-14
     
    回复
    举报
    分享到
    离线200833
    科学家
    发帖
    1092
    光币
    27662
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2020-09-14
    谢谢你的分享。
    回复
    举报
    离线宝妮
    实习生
    发帖
    15
    光币
    4
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2021-11-14
    感谢分享~
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表