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摘要 mP`,I"u arpJiG~JR 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 D*<8e?F 5d!z<{` g[uE@Gaj& 概述 l,~ N~? )%-\hl] )^QG-IM •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 &**.naSo •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 $n_sGr •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 kC,DW%Ls DVeF(Y3&
]xVL11p <3J=;.\6 衍射级次的效率和偏振 kG~ivB}x A=l?IC@O p]J]<QaZD •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 o9(#KC?3 •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 '<U[;H9\ •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 123-i,epg •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 >ZOZv •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 6.(]}?g1f
E!oJ0*@ }T^v7 LY 光栅结构参数 hyr5D9d =-#iXP@ d,E/9y\e •此处探讨的是矩形光栅结构。 3mnL V*aRt •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 ,m_&eF •因此,选择以下光栅参数: '~!l(&X - 光栅周期:250 nm Qr xO
erp - 填充系数:0.5 Lu u-c<*M - 光栅高度:200 nm 'TEwU0<% - 材料n1:熔融石英 >O[^\H!\ - 材料n2:TiO2(来自目录) { U2|): LVz%$Cq,0 g^|_X1{ :O_<K& 偏振状态分析 <=LsloI FCw
VVF0y A&@jA5Jb •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 wNlV_ •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。
19.!$; •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 v\L Ip 6CzvRvA*P
Q-3J0= KfI$'F
#"/ 产生的极化状态 p>hCh5 -_H2FlB
1Y"y!\t7G ]q\= #'{PYr 其他例子 aABE= 9Y P#'DG W&W0 xsypIbN •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 H'(o}cn7~ •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 1=cfk# fCo2".Tk 7G #e~,M5 97@?QI} 光栅结构参数 [8(9.6f R^w >aZoJ lKD< •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 /Gu2@m[r •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 B7^n30+L •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 u\\niCNA •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 jjlCi<9CQ^
ROiX=i x>/@Z6Wxz 光栅#1 zAdVJ58H / o3FK
o\Vt $ ,'0oj$~S: rG'k<X~7 •仅考虑此光栅。 d}G."wnG9, •假设侧壁表现出线性斜率。 (~yJce •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 ~\(>m=|C:H •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 ^oZs&+z 74N\G1 [A/+tv 假设光栅参数: Z["nY&.sI •光栅周期:250 nm kj"_Y"q= •光栅高度:660 nm vxfh1B& •填充系数:0.75(底部) LfSUY •侧壁角度:±6° +as\>"Cj+2 •n1:1.46 *j; r|P;g •n2:2.08 @G-k]IWi E
MbI\=>yS 光栅#1结果 =-&iF _ r)hr7 aD`e]K ^L •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 "4-Nnm •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 "k@/Z7= •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 B=xZkc Cjb p- -5*;J&. 2PW3S{D t 光栅#2 ZQ8Aak x \{jWR%
s+t eYL#Zi 2xxwQwg8 AxQ/ •同样,只考虑此光栅。 <%5uzlp •假设光栅有一个矩形的形状。 DcM+K@1E4^ •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 F?4'>ZW 假设光栅参数: +0042Yi •光栅周期:250 nm mq}
#{ •光栅高度:490 nm jWCC`0
T •填充因子:0.5 I>zn$d*0 •n1:1.46 J(*"S!q)6 •n2:2.08 [vT,zM
fxa^SV 光栅#2结果 Hs!CJ(0"y `Hu;Gdj= aM1JG$+7 G •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 :Bc;.% •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 \Vq;j 1 •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 bhT]zsBK
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