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    [推荐]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-09-01
    摘要  mP`,I"u  
    arpJiG~JR  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 D*<8e?F  
    5d!z<{`  
    g[uE@Gaj&  
    概述 l,~ N~?  
    )%-\hl]  
     )^QG-IM  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 &**.naSo  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 $n_sGr  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 kC,DW%Ls  
    DVeF(Y3&  
    ]xVL11p  
    <3J=;.\6  
    衍射级次的效率和偏振
    kG~ivB}x  
    A=l?IC@O  
    p]J]<QaZD  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 o9(#KC?3  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 '<U[;H9\  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 123-i,epg  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 >ZOZv  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 6.(]}?g1f  
    E!oJ0*@  
    }T^v7 LY  
    光栅结构参数 hyr5D9d  
    =-#iXP@  
    d,E/9y\e  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 3mnLV*aRt  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 ,m_&eF  
    •因此,选择以下光栅参数: '~!l(&X  
    - 光栅周期:250 nm Qr xO erp  
    - 填充系数:0.5 Luu-c<*M  
    - 光栅高度:200 nm 'TEwU0<%  
    - 材料n1:熔融石英 >O[^\H!\  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) {U2| ):  
    LVz%$Cq,0  
    g^|_X1{  
    :O_<K&  
    偏振状态分析 <=LsloI  
    FCw VVF0 y  
    A&@jA5Jb  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 wNlV_  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 19.!$;  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 v \L Ip  
    6CzvRvA*P  
     Q-3J0=  
    KfI$'F #"/  
    产生的极化状态 p>hCh5  
    -_H2FlB  
    1Y"y!\t7G  
      ]q\=  
    #'{PY r  
    其他例子 aABE= 9Y  
    P#'DGW&W0  
    xsypIbN  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 H'(o}cn7~  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 1=cfk#  
    fCo2".Tk  
    7G #e~,M5  
    97@?QI}  
    光栅结构参数 [8(9.6f  
    R^w >aZ oJ  
    lKD<  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 /Gu2@m[r  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 B7^n30+L  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 u\\niCNA  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 jjlCi<9CQ^  
    ROiX =i  
    x>/@Z6Wxz  
    光栅#1 zAdVJ58H  
     /o3FK  
    o\Vt $  
    ,'0oj$~S:  
    rG'k<X~7  
    •仅考虑此光栅。 d}G."wnG9,  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 (~yJce  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 ~\(>m=|C:H  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 ^oZs&+z  
    74N\G1  
    [A/+tv  
    假设光栅参数: Z["nY&.sI  
    •光栅周期:250 nm kj"_Y"q=  
    •光栅高度:660 nm vxfh1B&  
    •填充系数:0.75(底部) LfSU Y  
    •侧壁角度:±6° +as\>"Cj+2  
    •n1:1.46 *j;r|P;g  
    •n2:2.08 @G-k]IWi  
    E MbI\=>yS  
    光栅#1结果 =-& iF  
    _ r)hr7  
    aD`e]K ^L  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 "4- Nnm  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 "k@/Z7=  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    B=xZkc  
    Cjb p-  
    -5*;J&.  
    2PW3 S{Dt  
    光栅#2 ZQ8Aak  
    x \{jWR%  
    s+t eYL#Zi  
    2xxwQwg8  
    AxQ/  
    •同样,只考虑此光栅。 <%5uzlp  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 DcM+K@1E4^  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 F?4'>ZW  
    假设光栅参数: +004 2Yi  
    •光栅周期:250 nm mq} #{  
    •光栅高度:490 nm jWCC`0 T  
    •填充因子:0.5 I>zn$d*0  
    •n1:1.46 J(*"S!q)6  
    •n2:2.08
    [vT,zM  
    fxa^SV   
    光栅#2结果 Hs!CJ(0"y  
    `Hu ;Gdj=  
    aM1JG$+7G  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 :Bc;.%  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 \Vq;j 1  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 bhT]zsBK  
    T8oASg!  
    '0?E|B]Cp%  
    文件信息 Q)dns)_x  
    CK#PxT?"  
    ~Q]M_,`M  
    NP/2gjp  
    5qko`r@#  
    QQ:2987619807 c9k,Dc  
     
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