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    [分享]用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计 [复制链接]

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    离线991518
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-24
    摘要:均匀照明投影光刻机中实现光刻线条高度均一性的重要条件。采用微透镜阵列作为照明匀光器件,能够 在实现矩形照明光斑的同时获得极高的远场分布均匀性。基于微透镜阵列现有的加工工艺,设计出二维方向分开 的柱面微透镜阵列,并通过优化设计,克服了微透镜之间的接缝在远场光场处产生的中心亮线。仿真分析表明,所 设计的微透镜阵列的远场分布不均匀性达到0.85%。 ~5|R`%  
    3%9XJ]Qao  
    关键词:几何光学;微柱面镜阵列;光学设计;照明均匀性
    附件: 用于光刻机照明均匀化的微柱面镜阵列设计.rar (1733 K) 下载次数:127 ,售价:2光币[记录]
    2条评分光币+10
    mang2004 光币 +5 - 2020-08-25
    cyqdesign 光币 +5 - 2020-08-24
     
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    离线optifdtd
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-08-25
    学习了解。。。。。。
    离线ruanpeiz
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-08-27
    好东西  学习一下
    离线ruanpeiz
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    只看该作者 3楼 发表于: 2020-08-27
    感谢 感谢
    离线jiatong
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    只看该作者 4楼 发表于: 2020-08-29
    感谢! k=p[Mlic/  
    离线wuyy1227
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    只看该作者 5楼 发表于: 2020-08-31
    学习了!
    离线lzj421223
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-09-02
    学习了!!!谢谢
    离线hale1987
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-09-08
    感谢!
    离线寒夜
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    只看该作者 8楼 发表于: 2020-09-09
    谢谢分享。
    离线居安思危
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    只看该作者 9楼 发表于: 2020-09-10
    感谢,好东西,学习一下