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摘 要 (T%F!2i([U :XPC0^4s 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 E&s'uE=w+ JA SR 建模任务 ) $l9xx[ HX /GLnY/X 0]h8)EW OUIUgej 倾斜平面下的观测条纹 (giTp@Tp YvxMA# 9A *?E 3x(MvW30Lg 圆柱面下的观测条纹 T je o*n^ V.
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7q2"b?|h H.l,%x&K 球面下的观测条纹 D_
Bx>G9 cAKoPU>U V ~J2s :9!0Rm VirtualLab Fusion 视窗 qj3bt_F!x d=4f`q0k @F3-Ugm <*r<+S VirtualLab Fusion 流程 iw~V_y4 ${I@YSU &JXHDpd$a^ K9I,Q$&xX VirtualLab Fusion 技术 <igx[2X yf#%)-7( C)KtM YA, @aiLGwh 文件信息 LL$,<q%(P wc+N $*v 20 ~&[P`
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