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摘要 )z4eRs F| s6_i> 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 cF9oo%3 L?&&4%% A9"!=/~ `cN8AcRHP 设计任务 #mK?:O\-1 1Qz@ '<1Cta` o>Dd1
j Y(?SE< 4R 光栅特性与参数的严格分析 -O-?hsV)y Rxlv: 不同光栅周期的衍射效率 aX|(%1r u5KAwMw%Q b+hN\/*] UK,sMKbl1 考虑光栅周期的选择 nvNF~)mu HPt\ BK Zt=P 0 偏振相关衍射特性 <$25kb R5K hH%fWB2( fy|I3 R?- zJ ; 偏振相关衍射特性 ]\L+]+u~ a69e^;,>q DVKb`KJ" {{gt>"D, 偏振相关衍射特性 5dD8s-;^T .P?n<n# #)[.Xz:U VhAJ1[k4! 基于参数优化的光栅设计 )N1iGJO) a1%}Ee 具有固定周期的二维参数优化 H~>8q~o] Zkqq< Qc PU{#6 二维参数优化 - 设计#1 Y3(I;~$! Y>
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)_*MPY 制造公差分析 - 设计#2 qK9A
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