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摘要 mIRAS"Q!m 'X54dXS?l 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 sqT^t! #7+]%;h  iNXFk4 )]wuF` 设计任务 pOKeEW<q .`Sw,XL5  {f-XyF1` k9 l^6#<? p(.N(c 光栅特性与参数的严格分析 (oF-O{ s*f1x N< 不同光栅周期的衍射效率 0#<WOns1
G,B?&gFX  8|6~o.B.G <z',]hy 考虑光栅周期的选择 XwtAF3oz 5:$Xtq  +|9f%f6vp 偏振相关衍射特性 6i| ~7 md, [$;,Ua-mt
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.ots?Ns 偏振相关衍射特性 e9lOk)`t
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 ~?CS _B * ,aWCiu} 偏振相关衍射特性 ?]5Ix1 `4skwvS=  hox< vr4
1 ) 'Iu`k/ 基于参数优化的光栅设计 eKyqU9
^iuo^2+ 具有固定周期的二维参数优化 7C?E z%a@
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 ~pRs- :mP9^Do2; 二维参数优化 - 设计＃2 _CL{ I Y [Eru yWK
'mJ13 L ?Cjo4xS 制造公差分析 - 设计＃2 vbaC+AiX djfU:$!j&
 L0xsazX:x ++0rF\& 不同光栅周期的三维参数优化 &Q~)]|t
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