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摘要 u388Wj
uM#U! 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 hzuMTKH9 7MuK/q. l;{N/cS p`<e~[]a 设计任务 <;,S"e %L \{kUam 6aF'^6+a 8T.5Mhx0jS {7![3`%7 光栅特性与参数的严格分析 o~.o^0Y w(e+o.: 不同光栅周期的衍射效率 jQ_|z@OV L4/TI(MP ox\B3U%`p} 8NAWA3^B 考虑光栅周期的选择 jY#(A23 mcz(,u} X~)V )'R 偏振相关衍射特性
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32bkouq O2'bNR 偏振相关衍射特性 ll<9f) gGI#QPT`X
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N(M*; 偏振相关衍射特性 EYJ i6# I"F
.%re |?fW!y V$Xl^# tN 基于参数优化的光栅设计 &`
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az\<sWb# 二维参数优化 - 设计#1 LpiHoavv IB#iJ#,
Av;q:x? iKF$J3a\2f 二维参数优化 - 设计#2 =;k+g?.@I ^ =/?<C4
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制造公差分析 - 设计#2 2 <6`TA*m |Uy e>%*}4
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KYA _\4` 不同光栅周期的三维参数优化 n ,&/D
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