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摘要 +mj y<~\ oLeq!K}re <iC(`J$D n b?lTX~ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 %ntRG! I+!0 O 建模任务 #=A)XlZMd G9cUD[GB !*N@ZL&X /W<;Z;zk 由于组件倾斜引起的干涉条纹 KkbD W3- X.{S*E:$u \ Gvm9M [RhO$c$[\ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 g}cq K }&J q}j 'zTLl8P
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