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摘要 iVFnt! a+Q)~13 )%Y$FLB 4X^0:.bT& 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 0^;{b^!( @wpm;] 建模任务 U_w)*)F W?.Y%wc0 Na#2sb[) |/q *Fg[f 由于组件倾斜引起的干涉条纹 qoEOM%dAqV !OiP<8 ,H $u>^A<TBN FC(m)S2 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 &v |