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1. 摘要 %;XuA*e 7^}Z%c 高NA物镜广泛用于光刻,显微等技术。因此,聚焦仿真中考虑光的矢量性质至关重要。VirtualLab可以非常便捷地对此类镜头进行光线追迹和场追迹分析。通过场追迹,可以清楚地观察由于矢量效应引起的聚焦光斑失对称现象。利用相机探测器和电磁场探测器能够对聚焦区域进行灵活全面的研究,进而加深对矢量效应的理解。 a{YVz\?d} ]$k
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p.7p,CyB oM7-1O 2. 建模任务 i*rv_G|(Zj -Y,Ibq
w9?wy#YI -kS5mR 3. 概述 CMf~Yv :r+
1>F$o )uJ`E8>- 示例系统包含了高数值孔径物镜 x~,?Zj)n?C 下一步,我们将阐述如何遵循VirtualLab中推荐的工作流程执行示例系统的仿真。 *>H'@gS <5L` d}
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OR4 9jFDBy+ 4. 光线追迹仿真 IZ ha* 7 H0Xda.Y( t-{OP?cE1 首先,选择“Ray Tracing System Analyzer”作为仿真引擎。 WED7]2> 点击“Go!”。 2MrR|hLx 随即获得3D光线追迹结果 Zl/+HU~ ?O]gFn
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V 然后,选择“Ray Tracing”作为仿真引擎。 (
I~XwP& 点击“Go!”。 lcLxqnv 随即获得点列图(2D光线追迹结果)。 fA,!d J 4SO{cst
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