作为
衍射光学领域广泛使用的方法，薄元近似（TEA）在计算薄衍射元件的衍射效率时非常有效。 但在另一方面，当衍射
光栅的周期小到可以与
波长相比较时，这种近似将会变得不准确。 我们选择了两种常用的透射光栅轮廓（正弦和闪耀），并应用TEA和严格的FMM / RCWA进行分析，用来比较两种方法的结果。
njaKU?6%d2 ^ZIs >.' 用于光栅建模的TEA与FMM
f1 S% p 9f/l" 
我们同时使用TEA和FMM（也称为RCWA）来分析两种周期不同的光栅（正弦光栅和闪耀光栅），并比较了两种方法的结果。
j"jQiL_* LqXVi80 闪耀光栅的傅里叶模态分析
l $ kO%E' Fn0 |v66 
在
VirtualLab Fusion中，傅里叶模态方法（FMM）可用于光栅效率的严格分析。
4 aE{} jp1 Xy. /1`X 更多相关信息，请发送邮件至：
support@infotek.com.cn m ?gGFxo ~ Q#! oh'i 网址：
http://www.infotek.com.cn j;qV+Rq]t Ly/ 
$=X>5B PJ=| g7I 购买与
软件试用请联系QQ：1824712522
