摘要 qUW!
G&R G3vxjD<DMW 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
4ber!rJM G+"t/?/ IT7wT+ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
U!?_W=? iDz++VNV 建模任务 %XoiVlT@: {
Vf XsI H.|#c^I RSyUaA 单次FMM仿真结果 "R1NG?;q /hH I7vz+>Jr < #}5IQ5`Z 参数扫描(1D) BB!THj69a6 ,,&*:<Q =_ ./~ HU8900k+ 参数扫描(2D) ~Z?TFg
Vl/+;6_ wc NOLUl ~hnQUS`A 文件信息 JPc+rfF 0y" $MC v rq/yD,I, ?FeYN+qR 拓展阅读 V6&!9b L_uVL#To -
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