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    [分享]VirtualLab:使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    离线xunjigd
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-27
    摘要  J O`S  
    NI \jGR.  
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 (5re'Pl  
    Pp6(7j  
    me#VCkr#  
    傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) :e`;["(,  
    P|_>M SO1'  
    建模任务 YUat}-S  
    2}[)y\`t3  
    e-ILUzT  
    S v$%-x^t  
    单次FMM仿真结果 lW1Al>dW<  
    YgC J s;  
    DDyeN uK  
    lO9ML-8C1  
    参数扫描(1D) ds,NNN<HW  
    7 /w)^&8  
    htj:Z:C`  
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    参数扫描(2D) UYn5Pix  
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    文件信息 i<l_z&  
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