摘要 g-oHu8 "pdG%$ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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Mz40([{ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
Y!i4P#4+q PAH;
+ 建模任务 @s2z/h0H |?V6__9
&kXf)xc<~ !s\-i6S> 单次FMM仿真结果 vwZ2kk!|i ;.!AX|v
T*J]e|aF t LS5yT/ 参数扫描(1D) t=iy40_T SR%h=`t
s=~r. x $oq&uL 参数扫描(2D) (J\"\#/d l *yml
MCe=R R ?*tpW75hR[ 文件信息 fseHuL=~ (Pin9^`ALc
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