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ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度? z&x3":@u< 物理膜厚精度由水晶片的精度决定,光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40) b!hs|emo;
morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系, 工艺好点, 2%~3%的也能应付。 Q;EQ8pL?" 再提高,0.5%准确度比较难了。 :p6.v>s8 镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47) <ic%c/mN
alien21:谢谢!物理膜厚精度, (2020-03-21 09:56) 4kZ9]5#.
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