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alien21:谢谢!物理膜厚精度, (2020-03-21 09:56) ?kBi9^)N4
morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系, 工艺好点, 2%~3%的也能应付。 }UwDHq= 再提高,0.5%准确度比较难了。 `% sKF 镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47) FI@!7@
ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度? Bf37/kkf( 物理膜厚精度由水晶片的精度决定,光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40) i7hWBd4wK
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