切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2526阅读
    • 8回复

    [求助]目前工艺介质膜厚精度能到多少? [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线alien21
     
    发帖
    113
    光币
    368
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-03-20
    关键词: 镀膜
    想咨询一下,以目前的镀膜工艺水平,蒸镀和溅射方法镀制介质膜,膜厚精度分别能到多少? 膜系总厚在100nm左右。 HPl!r0 h  
     
    分享到
    离线renlgj
    发帖
    199
    光币
    68
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 2024-10-26
    学习了解
    离线hhit_xiaomi
    发帖
    5
    光币
    5
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2024-10-24
    6666666666
    离线ouyuu
    发帖
    561
    光币
    3334
    光券
    1
    只看该作者 6楼 发表于: 2020-03-25
    回 alien21 的帖子
    alien21:谢谢!物理膜厚精度, (2020-03-21 09:56)  ?kBi9^)N4  
    AITV+=sN  
    物理膜厚由水晶控制,一般是5%左右。 >q+o MrU  
    水晶片的震荡频率会受温度影响,镀膜时候温度上升会干扰到水晶的精度。 y bWb'+x  
    所以有些高精度的镀膜机会用水冷来解决温升的问题。 ^R\et.W`s  
    但是水晶片温度低了和膜的结合力受影响,水晶片上沉积多了以后膜就会脱落。 5 9$B z'LY  
    水晶片的使用寿命会受影响
    离线alien21
    发帖
    113
    光币
    368
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2020-03-21
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系, 工艺好点,  2%~3%的也能应付。 }UwDHq=  
    再提高,0.5%准确度比较难了。 `% sKF  
    镀膜更重要的是重复性。 (2020-03-20 19:47)  FI @!7@  
    GX4HW \>a  
    明白了,谢谢!
    离线alien21
    发帖
    113
    光币
    368
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2020-03-21
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度? Bf37/kkf(  
    物理膜厚精度由水晶片的精度决定,光学膜厚精度由光控的精度决定。 (2020-03-20 16:40)  i7hWBd4wK  
    eEvE3=,hg  
    谢谢!物理膜厚精度,
    离线morningtech
    发帖
    263
    光币
    275
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2020-03-20
    晶控能应付常规 5%左右精度要求的膜系, 工艺好点,  2%~3%的也能应付。 vumA W*  
    再提高,0.5%准确度比较难了。 TGUlJLT  
    镀膜更重要的是重复性。
    离线ouyuu
    发帖
    561
    光币
    3334
    光券
    1
    只看该作者 2楼 发表于: 2020-03-20
    你要的精度指的是光学膜厚精度还是物理膜厚精度? NR </Jm*  
    物理膜厚精度由水晶片的精度决定,光学膜厚精度由光控的精度决定。
    离线alien21
    发帖
    113
    光币
    368
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2020-03-20
    求教,有人吗