球面透镜整形器
参考Donald Dilworth《Lens Design Automatic and quasi-autonomous computational methods and techniques》书第十五章
首先选择工作目录C:\Synopsys\Dbook\
r;c' NqP nUiS<D2
然后,点击“Open MACro”按钮

,打开宏C15M1,该文件中的代码如下:
<9=zP/Q RLE !镜头输入文件起始点
c$@`P ID LASER BEAM SHAPER ! 镜头标识
iU.!oeR? WA1 .6328 ! 定义单个波长,单位为um
p^T&jE8])# UNI MM !透镜单位为mm
/7c2OI=\ OBG .352 ! 使用OBG指令声明高斯光源,束腰半径为0.35mm,孔径大小为2倍的输入光束的1/e**2点
d^ 2u}^kG 1 TH 22 ! 表面1和表面2之间的距离为22mm;表面1必须在束腰位置
&B?@@6 2 RD -5 TH 2 GTB S ! 定义表面2的半径和厚度,以及玻璃类型为来自玻璃库Schott 的SF6
kTr6{9L SF6
@~JB\j9 3 UMC 0.3 YMT 5 ! UMC指令求解表面3的曲率,给定边缘光线的角度为0.3;
98X!uh' ! YMT指令求解在表面4上边缘光线高度为5mm时所对应的厚度;
!y.ei1diw 4 RD 20 TH 4 PIN 2 ! 定义表面4的半径和厚度,并拾取表面2的折射率
_Ngx$ 5 UMC 0 TH 50 ! UMC指令求解表面5的曲率,给定边缘光线的角度为0°,即光束被准直;表面5的厚度为50mm;
,h3269$J 7 ! 定义表面6和表面7,且两表面必须平坦且重合,因为它们是AFOCAL输出
H|grbTv, AFOCAL ! 设置系统无焦
eV"d v*R END !结束镜头输入文件
点击PAD图标
或在CW窗口输入SYNOPSYS AI>PAD,得到该透镜系统的二维图,如图1所示: 图1 粗略猜测用于激光束整形器的初始系统
t.3Ct@wK 接下来,检查能量密度,通常有多种方法:
方法一:FLUX指令
9yh9HE CW窗口输入SYNOPSYSAI>FLUX100 P 3,然后点击“Enter”键。得到通过FLUX指令计算出的高斯强度分布引起的光通量衰减,如下图所示。
JQ~y- lt FLUX100 P 3 的含义:
}rO?5 数字100-追迹的光线数目
sjkWz2]S 字母P-主波长
h`z2!F4 数学3-表面3
方法二:FLUX像差
KC&H* 首先在CW中输入SYNOPSYSAI>STEP= 100,然后点击“Enter”键。
k)?,xY\AV 5LDQ^n 然后运行宏C15M2一次,其代码为: 9zXu6<|qrL
F% F
c+? DD:DO MACRO FOR AIP = -1 TO 1 ! 定义循环,设置特殊变量AIP来改变透镜数据
<m?GJuQ' COMPOSITE ! 定义复合像差
1~["{u CD1 PFLUX 0 0 AIP 0 3 ! 使用CD1参数,计算表面3上AIP区域(循环变量)的光通量衰减
1"8Z
y6t =CD1 ! 计算结果将自动放入文件夹FILE的位置1
clh3 Z1 =FILE 1 ! 使用Z1变量参数,将文件夹FILE中位置1的结果置于Z1变量中;
v_y!Oh?EG = 1 +Z1 ! 将1添加到结果中,这是总的光通量,因为Z1是衰减量。
jlYD~) ORD =FILE 1 ! 获取该值,并用于绘图的纵坐标,其横坐标为循环变量AIP
*ge].E #pS]k<o%1 最后在CW中输入SYNOPSYSAI>DD,然后点击“Enter”键。
TYs+XJ'Xj 这样,就得到了高斯型光通量分布。 从图中可以看出,高斯型通量分布为OBG定义的1/e**2点的两倍。
0_YxZS\
在PAD图中点击图标
按钮打开工作表,然后点击图标
,再单击PAD图的右侧放置透镜。重复上述操作,为系统添加两个透镜,如图2所示。 图2 添加两个透镜后的系统结构
首先点击
按钮设置检查点,然后运行优化宏C15M3,其代码为: #G'S
ve? $sA,$x:^xI CHG !改变透镜
Ha46U6_'h NOP !移除所有表面拾取和求解
hgTM5*fD} 9UMC !UMC指令求解表面9的曲率
@rnp- +kq END !结束
Q'n(^tbL T0@](g PANT ! 定义变量参数
71oFm1m{ VLISTRAD ALL ! 改变所有表面半径
dzjB UD VLISTTH 3 5 6 7 8 ! 改变表面3,表面5,表面6,表面6,表面8的空气间隔
FRl3\ZDqrb YQN]x}:E+4 END ! 结束
,pQ'w7 ?noETH z) AANT ! 定义像差参数
3q~":bpAp AEC 11 1 !自动控制边缘厚度,防止边缘太薄,目标值为1,权重为1,窗口为1
Ze[g0" ACC 41 1 !自动控制元件中心厚度,防止中心厚度太厚,目标值为4,权重为1,窗口为1
7\7 Brw4 ACA60 10 1 ! 自动控制临界角,防止光线超过临界角,导致光线失败
k| _$R? LUL100 1 1 A TOTL ! 系统总长不超过100
M 510 A P YA 0 0 1 0 9 ! 0视场表面9上的边缘主光线高度目标值为5mm,权重为10
21[K[ % M 510 A P YA 0 0 1 0 10 ! 0视场表面10上的边缘主光线高度目标值为5mm,权重为10
9;E%U2T7 M 0 1A P FLUX 0 0 1 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为1时所对应的光通量衰减为0
U^E M 0 1A P FLUX 0 0 .99 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.99时所对应的光通量衰减为0
/3CHE8nSh M 0 1A P FLUX 0 0 .98 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.98时所对应的光通量衰减为0
blKDQ~T2 M 0 1A P FLUX 0 0 .97 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.97时所对应的光通量衰减为0
c,v^A+sZu M 0 1A P FLUX 0 0 .96 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.96时所对应的光通量衰减为0
"E@NZ*"u M 0 1A P FLUX 0 0 .95 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.95时所对应的光通量衰减为0
SR&(HH$ M 0 1A P FLUX 0 0 .94 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.94时所对应的光通量衰减为0
R9b/?*%=9 M 0 1A P FLUX 0 0 .93 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.93时所对应的光通量衰减为0
}};j2 M 0 1A P FLUX 0 0 .92 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.92时所对应的光通量衰减为0
Wo:zU M 0 1A P FLUX 0 0 .91 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.91时所对应的光通量衰减为0
Bi9
N M 0 1A P FLUX 0 0 .85 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.85时所对应的光通量衰减为0
H(5S Kv5 M 0 1A P FLUX 0 0 .8 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.8时所对应的光通量衰减为0
wQo6!H"K M 0 1A P FLUX 0 0 .7 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.7时所对应的光通量衰减为0
`^XRrVX< M 0 1A P FLUX 0 0 .5 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.5时所对应的光通量衰减为0
)0Y #-=.< M 0 1A P FLUX 0 0 .3 0 10 ! 0视场表面10上在Y方向高度为0.3时所对应的光通量衰减为0
lfU"SSQ GSO 01 5 P ! 控制弧矢面上5条光线产生的OPD
d&PE,$XC END ! 结束
U~u6}s]: SNAP ! 设置PAD更新频率
SYNO100 !程序优化次数为100次
优化后的镜头结构,如图3所示。您的结果可能会有所不同,由于您点击插入元件的确切位置是不可预测的。
o1 hdO 图3 通过优化光通量像差的镜头
再次评估光通量均匀性。CW窗口输入SYNOPSYSAI>FLUX100 P 10,然后点击“Enter”键。得到通过FLUX指令计算出的高斯强度分布引起的光通量衰减,如下图所示。光通量并没有改善。
:wv
:#EaH WL
IDw@fv
xh+AZ3 在PAD图中点击
恢复检查点,并打开WS工作表,在表面框中选择0,将“OBG 0.35 2”更改为“OBG0.35 1”,单击“Update”按钮。 @1pW!AdN 重新优化四个透镜。首先点击
按钮设置检查点,然后运行优化宏C15M3。并点击图标
进行模拟退火,具体参数设置为(22,1,50): 得到新的镜头,如图4所示:
图4 重新优化后的镜头
重新评估光通量均匀性。在CW窗口输入SYNOPSYSAI>FLUX100 P 10,然后点击“Enter”键。得到通过FLUX指令计算出的高斯强度分布引起的光通量衰减,如下图所示。
^D]7pe
光通量稍好点,但仍然不均匀。在保持光线角度控制的同时使强度分布均匀并不容易。该结果似乎表明使用四个透镜可以达到很好的平衡。
在PAD图中点击图标
按钮打开工作表,然后点击图标
,再单击PAD图的右侧放置透镜。重复上述操作,为系统添加两个透镜,如图5所示。 图5 再添加两个透镜后的系统结构
优化六个镜头以及模拟退火优化。运行优化宏C15M4,其代码为:
I,],?DQX2)
CHG !改变透镜
AEC 11 1 !自动控制边缘厚度不小于1mm,权重为1,窗口为1
ACC 41 1 !自动控制元件中心厚度不大于4mm,权重为1,窗口为1
LUL100 1 1 A TOTL ! 系统总长上限为100mm
M 510 A P YA 0 0 1 0 LB1 ! 0视场表面14的边缘光线高度目标值为5,权重为10;LB1-倒数第2个面
M 0 1A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为1时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.99时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.98时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.97时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.96时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.95时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.94时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.93时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.92时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.91时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .85 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.85时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.8时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.7时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.5时所对应的光通量衰减为0
M 0 1A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 ! 0视场表面14上在Y方向高度为0.3时所对应的光通量衰减为0
GSO 0.1 5 P ! 控制弧矢面上5条光线产生的OPD
GSR 01 5 P !控制弧矢面光线网格中所产生的光线像差
SNAP !设置PAD图更新频率,每一次优化更新一次
并进行模拟退火(22,1,50),最后得到镜头结构如图6所示:
b:}wR*Adc 图6 优化后的六片透镜结构
CW窗口输入SYNOPSYSAI>FLUX100 P 14,然后点击“Enter”键。得到通过FLUX指令计算出的高斯强度分布引起的光通量衰减,如下图所示。
光通量完全控制在10%均匀度的目标范围内。可以使用全球面透镜来完成整形器设计,但是需要六片透镜。
首先在CW中输入指令OFF27,即关闭开关27。然后在CW中输入MFP指令,点击“Enter”键。打开MFP对话框进行以下设置:
)o
" SB1 得到足迹图:
JqVBT+: mFgb_Cd 六片透镜系统的输出光线分布。光线更多地散布在中心附近,并在边缘压缩,这对光束整形器来说非常好,使得光束均匀化。
接下来,使用DPROP命令分析衍射传播特性。在CW中输入:
CHG !改变透镜
CFIX !固定孔径光阑,建议在运行DPROP时固定光阑。原因是:如果衍射发送少量的能量,DPROP程序通常会检查比镜头允许区域更大的区域。
1 TH0 !表面1厚度为0mm
END !结束
DPROPP 0 0 13 SURF 3 R RESAMPLE !设置衍射传播参数
Q>SPV8s DPROPP 0 0 13 SURF 3 R RESAMPLE 的含义: C;58z5*,
DPROP-衍射传播
P-主色
第一个0- Y方向的0视场
第二个0-X方向的0视场
13-表面13
SURF-绘制一个波阵面透视图,波阵面落在表面13的顶点平面上
3-曲面图的高度
R-设定该曲面的视角为右视角
RESAMPLE-多重采样
得到DPROP分析图如下:
\jF" nl KV^:sxU
*7xQp!w^
>0g`U
PK.h E{R
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