近日,美国泛林公司宣布与
ASML 阿斯麦、 IMEC 比利时微
电子中心合作开发了新的EUV
光刻技术,不仅提高了 EUV 光刻的良率、
分辨率及产能,还将
光刻胶的用量最多降至原来的 1/10 ,大幅降低了成本。
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w^7^q& dK`(BA{`3 泛林 Lam Research 的名字很多人不清楚, 前不久中芯国际宣布的 6 亿美元
半导体设备订单就是购买的泛林的产品 。
, !r@9T {hM"TO7\ 泛林是一家美国公司,也是全球半导体装备行业的巨头之一,与应用
材料、 KLA 科磊齐名, 2019 年营收 95 亿美元,在全球半导体装备行业位列第四,仅次于 ASML 、 TEL 日本东京电子及 KLA 。
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