1. 摘要
5=cS5q@ ' 5tk0A 白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪
系统和一个氙灯
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
~F; ~ '\g-z 2&b?NqEeZ D_s0)|j$cy 2. 建模任务
9szUN;:ZZ u([|^~H] d1]1bN4`"0 ^mp#7OL 3. 干涉条纹的变化
&d,!^9 u$M,&Om UA0j# ),!1B% 4. 走进VirtualLab Fusion
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srxi'Pe S&JsDPzSd w ag^Sk 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
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-ZVCb@% [C-4*qOaa2 6. VirtualLab Fusion 技术
/XVjcD66c L^E#"f cfZ$V^xM 7. 文件信息
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration 63PSYj(y -
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Fizeau Interferometer for Optical Testing P]^BE;7T zg>)Lq|VsT (来源:讯技光电)