摘要：针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题，提出利用长程轮廓仪（ LTP）来进行大口径大曲率半径（正、负）光学元件的精确测量，并通过实验证明了LTP检测大曲率半径光学元件的优 势。分析计算LTP测量曲率半径的算法精度，设计了合理的机械结构进行旋转测量，得到了全口径的曲率半径分布。 最后与球径仪、刀口仪的测量结果进行了对比。对R=37.108m和R=41.065m的球面镜测量结果显示， LTP的测量 重复性在0.05%以内，与球径仪、刀口仪的测量值相差均在0.05%以内。研究结果表明，LTP可以用来解决目前几十米 的大R曲率半径光学元件难以高精度测量的难题。 .n"aQ@!
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关键词：长程轮廓仪；曲率半径测量；算法精度；旋转测量
