切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 3544阅读
    • 8回复

    [求助]如何提高蒸发速率? [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线xiezhizhi
     
    发帖
    253
    光币
    40
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-07-17
    南光镀膜机。直接水冷无氧铜坩埚,涉谷电子枪。镀锗蒸发速率只有1A/s 电子枪束流230毫安真空度1.0*10-3pa。请问如何提高蒸发速率。
     
    分享到
    离线ouyuu
    发帖
    556
    光币
    3323
    光券
    1
    只看该作者 1楼 发表于: 2019-07-17
    速率是晶控控制的。调晶控参数

    楼主留言:

    速率设定是3A/S束流230mA了还可以增加。因为没镀过锗不知道速率可以达到多少。膜料液化在坩埚里跳动的厉害再加电流怕会喷料

    离线lilisrlhj
    发帖
    62
    光币
    2885
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2019-07-19
    锗料经常会遇到这种状况,多数增加蒸发功率也无法达到需要的蒸发速率,建议从电子枪和坩埚入手检查,建议换小口径的坩埚材料用石墨的比较合适。

    楼主留言:

    多谢 正在坩埚这条思路上实验。

    发帖
    337
    光币
    542
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2019-07-20
    没有镀过,来学习的。
    离线淡小疼
    发帖
    266
    光币
    133
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2019-07-21
    换个材料的坩埚
    离线opticsrain
    发帖
    59
    光币
    27
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2019-07-28
    晶控参数和电子枪功率的改变不管用的话,可以调整电子束扫描范围试试。
    离线xiezhizhi
    发帖
    253
    光币
    40
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2019-08-06
    / 0y5/  
    石墨坩埚解决问题
    离线wqc1987
    发帖
    34
    光币
    55
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2020-05-11
    请问楼主,用石墨坩埚溅料吗,我使用石墨6A速率跟放花一样,不知道石墨和锗料谁的问题,望楼主点拨一二,不胜感激
    离线renlgj
    发帖
    199
    光币
    68
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 08-22
    跟着学习吧