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    [求助]如何提高蒸发速率？ [复制链接]

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    离线xiezhizhi
    技术员
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-07-17
    南光镀膜机。直接水冷无氧铜坩埚，涉谷电子枪。镀锗蒸发速率只有1A/s 电子枪束流230毫安真空度1.0*10-3pa。请问如何提高蒸发速率。
     
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-07-17
    速率是晶控控制的。调晶控参数

    楼主留言：

    速率设定是3A/S束流230mA了还可以增加。因为没镀过锗不知道速率可以达到多少。膜料液化在坩埚里跳动的厉害再加电流怕会喷料
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    离线lilisrlhj
    工程师
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    只看该作者 2楼 发表于: 2019-07-19
    锗料经常会遇到这种状况，多数增加蒸发功率也无法达到需要的蒸发速率，建议从电子枪和坩埚入手检查，建议换小口径的坩埚材料用石墨的比较合适。

    楼主留言：

    多谢 正在坩埚这条思路上实验。
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    离线囊中蓄乾坤
    助理工程师
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    只看该作者 3楼 发表于: 2019-07-20
    没有镀过，来学习的。
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    离线淡小疼
    助理工程师
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    只看该作者 4楼 发表于: 2019-07-21
    换个材料的坩埚
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    离线opticsrain
    实习生
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-07-28
    晶控参数和电子枪功率的改变不管用的话，可以调整电子束扫描范围试试。
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    离线xiezhizhi
    技术员
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    只看该作者 6楼 发表于: 2019-08-06
    QGpAG#M9?  
    石墨坩埚解决问题
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    离线wqc1987
    认证会员
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    只看该作者 7楼 发表于: 2020-05-11
    请问楼主，用石墨坩埚溅料吗，我使用石墨6A速率跟放花一样，不知道石墨和锗料谁的问题，望楼主点拨一二，不胜感激
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    离线renlgj
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    只看该作者 8楼 发表于: 08-22
    跟着学习吧
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