SYNOPSYS提供了一种选择,可以直接在评价函数中对衍射MTF进行定位。这已经被证明是平衡残差的一种有力的方法,甚至有时可以显著提高
镜头的性能。然而,它必须被认为是一种作为最后手段的工具,而不是一种
标准程序,原因有二:
a5v}w7vL 首先,评估MTF(用于此目的的卷积MTF例程)的过程要比
优化过程中所需的正常
光线追迹慢很多倍。当优化MTF时,可能需要等待数小时而不是数分钟才会完成优化。
;<JyA3i^V, 第二个原因是,这个过程只能应用于已经非常接近衍射极限的
透镜。这是一个重要的限制。透镜的MTF几乎对涉及的每个
参数都有振荡。如果透镜不完美,MTF也会在更高的空间频率上振荡,如下所示。
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F SA| AS< W3XVr& 典型的MTF曲线确定模量随空间频率的变化。
jb!R FZW)C'j 一个给定频率的MTF也会作为一个镜头变量振荡,如下图所示。虽然不太为人所知,但这种效果是基于波形的标准(如MTF)所固有的,并且完全排除了它作为一种通用的优化工具的使用。每一个成功的优化方法都利用第一个(有时是第二个)对设计变量的偏差的导数,从而找到一个改进的解。但是如果导数在初始解和期望解之间快速变化,那么除了随机搜索之外,没有任何程序可以从一个解到另一个。
t4a/\{/#9| 5ayM}u%\~ {R2gz]v4 (~R [K,G 当结构参数改变时,绘图确定,透镜的MTF如何振荡。
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`h>a2 为了满足MTF优化的要求,必须对透镜进行足够的校正,使其在低于目标频率的频率上,不存在MTF曲线的最小值,并且在起始值和改进的解之间的变量值之间不存在MTF的最小值。这两个要求密切相关,满足第一个要求可能就足够了。
=@ '>|-w| wF +9Iu 假设上述图中的MTF要在点A处(不满足上述规则)进行修正。程序将尝试在这一点上提高MTF值,并将设计移动到b点。这是一个局部最大值,一旦到了那里,程序就会停止。但这不是期望的最大值。如果起点是C点,设计就会成功。
FCC9Ht8U? X}~5%B( 要使用MTF优化来达到好的效果,您应该遵循以下步骤:
Z'P>sV %nTgrgS(= _I$\O5 )jM'
x&Vg 优化程序计算的MTF始终采用波前插值法,在6.6.3.1节中有更充分的说明。如果开关84是关闭的,这将在波前使用一个Zernike,如果开关84是打开的,则使用一个线性样条。后者的速度要慢很多倍,但如果波阵面的表现不佳,则必须采用后者。
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ju5 如果您打算使用KICK或ANNEAL函数,应该谨慎地使用MTF优化。这些选项将改变镜头,使MTF可能不再处于最大值附近,而在这种情况下,该程序将不起作用。如果你小心地要求一个相当低的初始温度,你可以使用
模拟退火,所以设计变化不大。
y"Fp4$qb i'GBj,: MTF优化的输入格式是:
uQwKnD?F+e z|w@eQ", 1Na*7| C%$:Oq 其中TAR是所需的MTF和WT是相对权重。OBS的输入会被约束,但是弥散斑必须居中(参数P1被忽略)。
2S~cW./#fX 对于MTF系列的
像差,允许输入字符“PERF”以代替目标值。然后,该程序将在输入的空间频率上替换一个完美的MTF的近似值,该值为接近F/number和主
波长,用于一个不模糊的圆形光瞳。这个估计值的精度大约是1%,比要求一个1.0的MTF的效果要好得多,因为如果镜头接近衍射极限,你希望误差很小,以便恰当地平衡对其他可能还没有被很好纠正的偏差。
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