synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 %OV)O -
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 (Xak;Xum1
@]{+9m8G@
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 m'!smSx8
_v[yY3=3
{ A / S / MUL / DIV } name fGwRv%$^
/ LH#
3
其中name是如下之一 : s(0S)l<
a>05Yxw
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC =do*(
:jKiHeBQu?
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA 7Gos-_s
;Dw6pmZ
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP Tz`O+fx&
`rwzCwA1
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 o4[
w[K!m.p,u
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。