synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 Bh7hF?c Sj
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 &t6:1 T
/vpwpVHIpG
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 6!H,(Z]j
+v/-qyA
{ A / S / MUL / DIV } name pJIJ"o'>.9
LTuT"}dT[
其中name是如下之一 : m#<Jr:-
>J#/IjCW
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC sl:1P^b
@sUec
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA M\RHFTB<C
LtPaTe
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP jp|*kBDq\
N*+WGsxl$z
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 :<HLw.4O
z
pDc~ebh
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。