synopsys中,可以通过命令来直接控制三阶和五阶像差 #e+%;5\
直接通过一条命令语句,自由设置权重,可以根据需要来控制系统的像差,但是要记住:在控制系统的像差,不是越小越好,而是是使各个像差趋于平衡。 |@Q(~[It
2frJSV ?
最终表面的三、五阶像差值可定义为待控制的像差。输入是 %jKR\f G
Q*( ]&qr"E
{ A / S / MUL / DIV } name h_*=_ 2|}
m5{Y
其中name是如下之一 : T1\Xz-1
Y@M=6G
SA3CO3 TI3 SI3 PETZ DI3 PAC PLC SAC SLC NT= ?@uxD
G*\wu&7!
SA5CO5 TI5 SI5 ECOMA PZ5 DI5 TOBSA SOBSA 1K09iB
1fViW^l_
SAPTIP COP SIP ASP PZP DIP JWlH(-U4|
>`'#4!}G5j
另一组像差有助于降低透镜对制造误差的灵敏度。这些是 %jqBYn0q'
X[h=UlF
SATCOT ACD ACT ECD ECT ESA ECO。