摘 要
f6Ml[!aU Q.yb4 斐索
干涉仪是工业中常见的
光学计量
设备,它们通常用于光学表面质量的高
精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索
干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
/^Y[*5 Q |%-9^ IAYACmlN& 建模任务
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[W8 @a0Q0M 6.[)`iF+# /N>} 4Ay 倾斜平面下的观测条纹
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$_M@> 圆柱面下的观测条纹
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f~q4{ 球面下的观测条纹
H;QA@tF>5 fH[Wkif $C uR}g pl|h>4af VirtualLab Fusion 视窗
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Laser-Based Michelson Interferometer and Interference Fringe Exploration Bd&`Xfebj -
Mach-Zehnder Interferometer L=]p_2+ R5(F)abi (来源:讯技光电)