[分享]用于短波红外探测器的微透镜阵列制作 [复制链接]

摘要：采用光刻胶热熔法制作具有特定尺寸的微透镜，制作的微透镜能将微透镜阵列技术应用于短波 1μm~3μm 红 外探测器中，有效地提高探测器件的光电性能。采用 AZ P4620 厚光刻胶，利用紫外光刻技术，对透镜制作中的前烘、 曝光和显影、坚膜、热熔等工艺进行了深入细致的实验研究，确定了最优的工艺参数，实现了球冠直径在(5.5±0.5) μm， 曲率半径 3 μm 的微透镜，且透镜有很好的均匀性和一致性，满足近红外探测器件的要求。 rmq^P;
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关键词：微透镜阵列；光刻胶热熔法；前烘；热熔

如何用trace pro在一个曲面的板材上面绘制一个有孔洞得微透镜阵列，现在就是因为微透镜阵列和曲面板材的曲率不一样，得到的孔洞阵列大小总是不一样。请问一下大家有知道的吗？