[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 5O ;^Mk|  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 G!%XQ\a!  
y/hvH"f  

图片:1-1Z412150ZLR.png

_C=[bI@  
iGVb.=)  
1. 建模任务 bCUh^#]x  
$ywh%OEH  

图片:1-1Z41215093DW.png

}AZx/[k |z  
l zPS RT  
2. 结果 6RQCKN)  
+\vY;!^  

图片:1-1Z41215101G13.png

@k6}4
O?{  
+{!t~BW  

图片:1-1Z412151041B4.png

s^'#"`!v=  
b:cK>fh0_  
3. 文件和技术信息 1";e'?^x  
l!V| T?  

图片:1-1Z4121511045C.png

9~%]|_(  
^i)Q CDU7  

很强大