[分享]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

摘要 gT{
WH67u  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 Ohn?>qQ  
QWI)Y:<K/  

图片:1-1Z412150ZLR.png

<?Fkw
W\?  
~UNK[  
1. 建模任务 Xkp?)x3~X  
Fk#$@^c@  

图片:1-1Z41215093DW.png

2Y~nU(  
#?C.%kD  
2. 结果 mlix^P  
pD17r}%  

图片:1-1Z41215101G13.png

@hw
e  
7m4*dBTr  

图片:1-1Z412151041B4.png

'YvRkWf:KC  
*CCh\+S7m  
3. 文件和技术信息 v3b+Ddp  
H>]A|-rG#  

图片:1-1Z4121511045C.png

Seh(G  
=/Ph]f9  

很强大