摘要
3m~3l d 当用近轴光
照明时，亚
波长光栅仅产生一个
衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
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'Rv.6>xqc 0 zjGL7 1. 建模任务
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文件和技术信息
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Z~"8C Kz oTpoh]|[ （来源：讯技光电）
