摘要
rg5]`-!= 当用近轴光
照明时,亚
波长光栅仅产生一个
衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以
模拟这样的
成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。
nuSN)}b<Q =_RcoG/^~ z!s.9 a|QE *s. 1. 建模任务
oWp}O? ]$~Fzs ;%u_ ;,(( "{A*(. 2. 结果
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文件和技术信息
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x^PT 8 ]q (来源:讯技光电)