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    [求助]为什么我做的增透膜去清洗后就脱膜？ [复制链接]

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    离线知识乞丐
    实习生
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    只看该作者 30楼 发表于: 2016-09-17
    学到了知识呀，论坛就是好
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    离线johnyu
    技术员
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    只看该作者 31楼 发表于: 2016-11-09
    溫度三百度? 沒用IAD嗎?
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    离线ysc212
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    只看该作者 32楼 发表于: 2016-11-10
    如果250度是标定过的温度，脱膜有可能：1 表面清洁不好；2，返油，真空度不好；3，镀制速率；4，膜层应力不匹配。 3  8pw  
    检验膜的牢固度：一般擦拭即可；按标准，则需用胶带粘拉。 sp0& " &5  
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    离线闫俊110
    助理工程师
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    只看该作者 33楼 发表于: 2016-11-21
    学到了知识呀，论坛就是好哇
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    离线囊中蓄乾坤
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    只看该作者 34楼 发表于: 2017-04-07
    离子源清洗，和仓体洁净度
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    离线古书生
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    只看该作者 35楼 发表于: 2017-06-12
    温度应该够了，看看你的材料参数有没有问题！估计你是没有离子源的设备，所以不考虑离子源问题！
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    离线光迹
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    只看该作者 36楼 发表于: 2020-08-13
    回 yangyangyang 的帖子
    yangyangyang:看来大家用的油扩散泵比较多，怪不得一炉要那么久。 l2+qP{_4  
    如果我和你们说我现在一炉40分钟，你们谁信，哈哈。 P_j ?V"i<  
    你的问题在于以下几点： XPd>DH(Yc  
    1，腔室的洁净做好没有？ e-,U@_B  
    2，离子源的轰击时间多少？ !(*mcYA*W  
    ....... (2014-06-17 20:01)  DOaEz?2)  
    "V&2 g?  
    40分钟一炉，看做什么膜系吧。我用日本昭和的机器，双面AR，全部镀完，56分钟。
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    离线wflney
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    只看该作者 37楼 发表于: 2020-08-14
    学习学习
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