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    [求助]为什么我做的增透膜去清洗后就脱膜？ [复制链接]

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    离线ychm1002
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-01-30
    我用的是SiO2/JBM1/TiO2/SiO2  基底温度是２５０度 4BUG\~eI3  
    前几天我的基底温度是２６０度，但不脱膜～～１０度应该不会至于脱膜吧 <T?-A}0uO  
    希望各位高手指教　谢谢！！！
     
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    离线zmc326
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-03-23
    兄弟：增透膜的蒸镀温度一般都是300度左右呀，你的温度这么低，不脱才怪呢。
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    离线nolla68
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    只看该作者 2楼 发表于: 2007-03-24
    那有很多關係,其中基板的清潔是相當重要的,另外鍍膜時的真空(gas in)及其他的因素都會導致脫膜
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    离线wangxingyu
    技术员
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    只看该作者 3楼 发表于: 2007-04-08
    看看离子源有没有问题
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    离线wolfliu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2007-04-09
    学到了知识呀，论坛就是好哇
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    离线lgciom
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    只看该作者 5楼 发表于: 2007-04-09
    如果基底实际温度达到了250，一般增透膜的温度已经够了。脱膜的因素很多，先看看返不返油吧
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    离线gp11
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    只看该作者 6楼 发表于: 2007-04-22
    加温的时间够不够，玻璃尺寸大的话最好到300度，持续1个半小时
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    离线清洗小卒
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    只看该作者 7楼 发表于: 2007-05-08
    清洗力度不够也会造成脱膜，不过还是和镀膜时的温度有很大的关系
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    离线jojo_g
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    只看该作者 8楼 发表于: 2007-05-16
    脱膜。。。增透 基地温度要在250度以上  基地清洁度要高！
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    离线dede
    助理工程师
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    只看该作者 9楼 发表于: 2012-02-16
    JBM1是什么？ F,Q;sq  
    可能是返油了，或者真空度不好 %3a-@!|1<  
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