概述
(kI@U![u ) /<\|mR 该
系统由一个聚光镜、一个倾斜球体和一个Schwartzchild设计的中继镜组成。
光源被
成像到中继镜的光瞳中。
光束在物体掩模处会聚，在中继
透镜的光瞳处形成点像。在中继透镜的瞳孔处，多条条纹图案将形成一个中心波瓣和侧波瓣。如下图所示：
%8GY`T:^ 6JL:p{RLi m&#a M8:\ 掩模上的条形图案在中继瞳孔中产生旁瓣
) wY bcH 窄条产生宽的旁瓣，仅部分通过中继入口瞳孔
1G+ ?/w 宽条产生较窄的旁瓣，更容易通过中继入口瞳孔
ep"54o5=d 部分通过旁瓣会产生部分解析
HPR*:t =i)k@w_(x 系统描述
NCysYm t ~v<,6BS<$Z 本例介绍了如何采用全局
衍射分析对部分相干进行
建模。如上图所示，整体装置是一个科勒
照明系统，其中有一个聚光元件能够将非相干光源的光进入转像透镜的
孔径中。在一个经典的科勒照明系统中，点光源通过一个聚光镜成像在转像系统的光瞳中。光源照亮物体掩膜面，并在最后的成像面上得到适当的放大。为了对光束合理采样，光源放在物的共轭点处，这样在光源面上，点光源将是有一定维度的，而不是像理想点光源那样，会引起混沌。对一个具有一定尺寸的光源，它所成的像就是部分相干的。如果光源足够大，大到可以填满转像透镜的孔径的话，所成的像将是非相干的。
[HhdeLOX D Psf] 模拟结果
6|:]2S @=[ SsS 三栅条图样的部分相干成像
]LhNP}c I806I@ix 两组七栅条图样建模对比
Q:B : q[SUYb;,
N^. !l_ V<!E9/4rS （来源：讯技光电）
