[讨论]镀膜设备验收有没有验收标准？ [复制链接]

镀膜设备验收有没有验收标准？一般均匀性和重复性在什么范围？

连续做三罩，镀膜伞上从中心到边缘取7～13个点，每个点都不能超过范围。 P63z8^y  
这个范围就取你们一般最难做的产品。 EU>@k{Qt  
另外连续三罩不能发生离子源，电子枪，光控，晶控，机械动作（坩埚盘、镀膜伞、挡板、修正板卡）的报警。 VR*5}Qp  
一般也就这样了，严格一点的可以看六罩。

忘了说了，还要做一次单层分布实验。 n$#^gzU4  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 m='+->O*'l  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， cf0em!  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 Z#7HuAF{]  
否则要重做修正板。 7F}I.,<W  
当然也有设备因为稳定性问题怎么做都做不好的，这种设备建议不要购买。 7@+0E2'  
以后修的时间比用的时间还多。 ?em)om  

赞成楼上的讲解，按照楼上的来，没问题。

学习了。

学习了。

学习了

二楼说得是重点，可以借鉴。

ouyuu:忘了说了，还要做一次单层分布实验。 8 kd  
每种材料在镀膜伞上的分布变化不能超过土1%。 k[G?22t  
就是镀膜伞上从中心到外围放7～13片的测试片，做足够厚的单层， w_\niqm<y  
然后分光器上测PEAK，所有测试片的PEAK点（波长）分布变化不能超过土1%。 {f3T !e{  
否则要重做修正板。 :X2B+}6_&  
....... (2018-11-13 13:23)  wl5!f|  

3G5i+9Nt.L  
学习了...

这个对于新入门的有用