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    [讨论]MgF2的镀膜参数讨论 [复制链接]

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    离线yzhuang
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-10-10
    一般情况下,如果是一个超宽带增透膜,就增透效果来说,最好的低折射率材料MgF2,但是关于MgF2的镀膜,温度基本上要300摄氏度左右最佳,参考资料是不能加离子源,300摄氏度镀膜抽真空时间会变得较长,且如果高折射率材料是Ta2O5的话,对于使用电子枪蒸发而言,必须进行离子源辅助才会得到基本无吸收薄膜,如果高折射率材料是Ti3O5的话,300摄氏度可能会有结晶,吸收也有可能会增加。这就跟MgF2的镀膜产生了冲突,我曾经进行过加APS源尝试,但无论怎么改变源的参数,还是避免不了吸收,我想看看大家是怎么做的,希望能得到一个最佳的做法。
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-10-11
    可以试下离子源(Ar+O2), @PT`CK}  
    离子源先只用Ar,等镀膜到了一定厚度(比如说1nm)再用部分的O2。 8|w5QvCU?3  
    离线875192871
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-10-12
    我们公司镀膜也有吸收  把镀膜后产品烘烤下 吸收会减弱很多  目前是这样做的
    离线光迹
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-10-23
    用钛酸镧搭配氟化镁
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-10-24
    如果你只有APS源的话,能量最高也就200V了, 8CHb~m@^$  
    其实并不适用TiO2。 "/4s8.dw+u  
    换种材料吧
    离线红尘尽碎
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-05-12
    学习中
    离线17873333033
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    只看该作者 6楼 发表于: 2020-03-16
    H4-MGF2这两种药材可以做,或者用H4-SIO2这两种也可以,你加我微信详细的工艺沟通一下:17873333033