摘要：光学自由曲面元件如离轴非球面等在现代光学系统中起到了越来越重要的作用。计算全息元件(CGH)可产 生任意形状的波前，能够很好地应用在光学自由曲面的零位补偿干涉测量中。针对一离轴椭球面为测量样品，以 光学计量领域比较成熟的 Offner 补偿器法，测量离轴非球面母镜的面形偏差，进而获得离轴椭球面的面形偏差；再 将离轴椭球面通过旋转平移，作为自由曲面元件，在平面基板上设计 CGH 对其进行零位补偿测量，研究零位补偿 CGH 的误差传递数据。通过主要原理误差分析与计算，在光学熔石英平面基底上制作零位补偿 CGH，测量不确定 度达到λ/10[峰谷(PV)值, λ=0 .6328 μm]，满足光学自由曲面元件的高精度检测要求。 ?;YymD_
_C%:AFPP>
关键词：测量；计算全息；光学自由曲面；离轴非球面；Offner 补偿器
