[原创]关于镀膜发雾的一些解释 [复制链接]

薄膜对光有反射，透过，吸收，散射等作用。 1k*n1t):  
薄膜发雾（对于因为基板本身脏或者带电吸附粉尘等问题此处略过）一般是因为散射。 B#;s(O  
x_]",2 W'  
散射一般分为：瑞利散射，米氏散射，几何光学近似 kbD*=d}3{  
散射发生的位置一般分为：表面（和空气接触面），界面（层与层的过渡面），粒子（结晶） _,11EeW@  
表面和界面发生的散射一般是因为真空度过低造成的，适当提高真空度可以改善。 4
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界面的散射还可以提高离子源能量（用离子源将表面打平）来改善。 buc,M@>  
结晶造成的散射，则需要靠改变温度来调整结晶大小。 PXOq#  
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具体问题具体分析，这个需要自己来判断。其实解决问题的过程，也是自我学习自我提高的过程。

学习了

很实用的东西，学习了

王工，关于发雾，有两个问题搞不明白， '.}6]l  
1、做离子源透亮产品，有时会遇到内圈雾，外圈亮的状况，很难说清楚是怎么回事，离子源参数已经调到最大，温度差异也不大，10度以内，有时真空度都调到了8.0E-4Pa,都改善不大； .MzP}8^  
2、离子源发雾工艺，最外圈会出现一般雾一半不雾的情况，下半部分更透亮，这种情况一直都在，有时轻有时严重，调过很多次，彻底解决不了。 IlC:dA  
麻烦您帮忙给分析下，对了，机器是新柯隆1350

离子源能量大了也会发雾的。 EP*["fx  
另外，你们用的是原装离子源配件吧？ CHdet(_=v  
副厂件不光是寿命，离子分布的均匀性也有问题。 709Uv5  
（原厂栅网在出厂前会测离子分布，然后根据分布再开预备孔） &EbD.>Ci  
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温度不光是加热丝的加热温度，离子源轰击其实对镜片也有加热作用的。 J _[e9  
我觉得你们是否离子源能量加的太大了。 6\S$I5  
还有，中和器电流一般要设到离子源电流的2倍。 L(!!7B_,  
中和器电流过小也会造成离子分布的不均匀。

非常感谢您的解析！ 1X!f!0=g+  
问题出现时，我们一直使用买机器时所带栅网。 -XDP-Trk  
一般在我们印象中，能量小才雾，能量越大越亮，不过接下来降低离子源能量我也会去尝试下，看看能不能解决。 {eD>E(Y@z1  
对于最后您说的中和器电流要设置到离子源电流的2倍，可中和器电流有设限，最大是2000mA,而离子源电压和电流最大是1200V和1200mA,如果离子源电流设置成1100或者1200，中和器电流相对不就也小了吗？为了与之相对应，调高中和器电流可行吗？

还有，你们离子源栅网用了多久了。 coP$7Q .  
是否有变形？如果三块栅网的孔对不到一起的话， *l'$pJ X  
离子束实际输出就会变少。 ^6NABXL  
一般照国内的打磨水平，两年左右就该换了。

顺便说一下，离子源栅网可以找我买。 DRg~HT  
我和新柯隆有服务协议，拿得到比较优惠的价格。
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一般设备都会配两套栅网，你看一下另一套是否好一点。 %_J/&{6G  
另外栅网不要混用，孔都是一套一起开的，混用会有匹配问题。

ouyuu:顺便说一下，离子源栅网可以找我买。 ]b$,.t5  
我和新柯隆有服务协议，拿得到比较优惠的价格。
一般设备都会配两套栅网，你看一下另一套是否好一点。 *Bz&  
另外栅网不要混用，孔都是一套一起开的，混用会有匹配问题。 (2018-11-21 14:29)  *==nOO9G  

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  已经买了，你来过我们这里做过改造的，和吴经理一起，只是当时没留下联系方式

你们是老吴的客户的话，我不能做的。 nxRrmR}F  
技术上有问题的话可以问我，这个没关系的。 ) O^08]Y g  
A84HaRlkF5  
老吴在镀膜公司做了十几年机修，然后在新柯隆做了两年组装， _kLoDju%  
机械结构方面他比我厉害。