薄膜对光有反射，透过，吸收，散射等作用。 ~QSX 1w"
薄膜发雾（对于因为基板本身脏或者带电吸附粉尘等问题此处略过）一般是因为散射。 Dtd~}-_Q
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散射一般分为：瑞利散射，米氏散射，几何光学近似 mrr]{K
散射发生的位置一般分为：表面（和空气接触面），界面（层与层的过渡面），粒子（结晶） a0hBF4+6
表面和界面发生的散射一般是因为真空度过低造成的，适当提高真空度可以改善。 rf H1Zl
界面的散射还可以提高离子源能量（用离子源将表面打平）来改善。 oeg
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结晶造成的散射，则需要靠改变温度来调整结晶大小。 fY^CI b$Y
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具体问题具体分析，这个需要自己来判断。其实解决问题的过程，也是自我学习自我提高的过程。
