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    [原创]关于镀膜发雾的一些解释 [复制链接]

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    离线ouyuu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-09-06
    薄膜对光有反射,透过,吸收,散射等作用。 H!dg(d^  
    薄膜发雾(对于因为基板本身脏或者带电吸附粉尘等问题此处略过)一般是因为散射。 o%=OBTh_   
    Qa=v }d-O  
    散射一般分为:瑞利散射,米氏散射,几何光学近似 BDT1qiC  
    散射发生的位置一般分为:表面(和空气接触面),界面(层与层的过渡面),粒子(结晶) '0>w_ge4  
    表面和界面发生的散射一般是因为真空度过低造成的,适当提高真空度可以改善。 +&hd3  
    界面的散射还可以提高离子源能量(用离子源将表面打平)来改善。 6N'v`p8  
    结晶造成的散射,则需要靠改变温度来调整结晶大小。 C e1^S[  
    |cCrLa2*-  
    具体问题具体分析,这个需要自己来判断。其实解决问题的过程,也是自我学习自我提高的过程。
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    光迹 光币 +1 原创内容,奖励! 2018-10-27
    cyqdesign 光币 +10 原创内容,奖励! 2018-09-06
     
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    离线qq335850532
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-11-14
    学习了
    离线白杨礼赞
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-11-14
    很实用的东西,学习了
    离线lgflgf2012
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-11-15
    王工,关于发雾,有两个问题搞不明白, ;-:Nw6 E  
    1、做离子源透亮产品,有时会遇到内圈雾,外圈亮的状况,很难说清楚是怎么回事,离子源参数已经调到最大,温度差异也不大,10度以内,有时真空度都调到了8.0E-4Pa,都改善不大; :qbbo~U  
    2、离子源发雾工艺,最外圈会出现一般雾一半不雾的情况,下半部分更透亮,这种情况一直都在,有时轻有时严重,调过很多次,彻底解决不了。 I$7#Z!P6|  
    麻烦您帮忙给分析下,对了,机器是新柯隆1350
    离线ouyuu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-11-17
    离子源能量大了也会发雾的。 u dhj$:t  
    另外,你们用的是原装离子源配件吧? Ka|WT|1  
    副厂件不光是寿命,离子分布的均匀性也有问题。 9%i|_c}  
    (原厂栅网在出厂前会测离子分布,然后根据分布再开预备孔) M PhG:^g  
    o/grM+_  
    温度不光是加热丝的加热温度,离子源轰击其实对镜片也有加热作用的。 dvWQ?1l_  
    我觉得你们是否离子源能量加的太大了。 @pcmVsIp  
    还有,中和器电流一般要设到离子源电流的2倍。 'gDhi!h%  
    中和器电流过小也会造成离子分布的不均匀。
    离线lgflgf2012
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-11-20
    非常感谢您的解析! owz6j:  
    问题出现时,我们一直使用买机器时所带栅网。 ]!JUiFj"uD  
    一般在我们印象中,能量小才雾,能量越大越亮,不过接下来降低离子源能量我也会去尝试下,看看能不能解决。 8U98`# i  
    对于最后您说的中和器电流要设置到离子源电流的2倍,可中和器电流有设限,最大是2000mA,而离子源电压和电流最大是1200V和1200mA,如果离子源电流设置成1100或者1200,中和器电流相对不就也小了吗?为了与之相对应,调高中和器电流可行吗?
    离线ouyuu
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-11-20
    还有,你们离子源栅网用了多久了。 EDMuQu/D8  
    是否有变形?如果三块栅网的孔对不到一起的话, IY Ilab\TZ  
    离子束实际输出就会变少。 =0Z^q0.  
    一般照国内的打磨水平,两年左右就该换了。
    离线ouyuu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-11-21
    顺便说一下,离子源栅网可以找我买。 p_^Jr*Mv  
    我和新柯隆有服务协议,拿得到比较优惠的价格。 it Byw1/  
    g4Y1*`}2f  
    一般设备都会配两套栅网,你看一下另一套是否好一点。 P2U^%_~  
    另外栅网不要混用,孔都是一套一起开的,混用会有匹配问题。
    离线lgflgf2012
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-11-22
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:顺便说一下,离子源栅网可以找我买。 Gf->N `N  
    我和新柯隆有服务协议,拿得到比较优惠的价格。
    一般设备都会配两套栅网,你看一下另一套是否好一点。 \dHdL\f  
    另外栅网不要混用,孔都是一套一起开的,混用会有匹配问题。 (2018-11-21 14:29)  r+W;}nyf  
    EJid@  
      已经买了,你来过我们这里做过改造的,和吴经理一起,只是当时没留下联系方式
    离线ouyuu
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    只看该作者 9楼 发表于: 2018-11-22
    你们是老吴的客户的话,我不能做的。 q&nEodv>+  
    技术上有问题的话可以问我,这个没关系的。 \uyZl2=WWa  
    n_/;j$h  
    老吴在镀膜公司做了十几年机修,然后在新柯隆做了两年组装, 9}|t`V"  
    机械结构方面他比我厉害。