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    [求助]HFO2材料有谁用过? [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-08-23
    各位大神,请教一下,关于HFO2这个镀紫外的材料,这个材料需要欲融和通氧气吗?怎么融不成液态的呢? =|{,5="  
    ss*2TE7  
    HFO2和MGF2搭配好,还是和SIO2搭配好呢?哪个更好呢! Kj<<&_B.H  
    E*T84Jh6  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-24
    融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 b8b PK<  
    加大电流或者减小光斑试试看。
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-08-25
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 ieoUZCO^r\  
    加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  |2` $g  
    aZ3 #g  
    谢谢,大神的指教
    离线yzhuang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-08-27
    需要充氧,40SCCM或更多
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-08-27
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  Ds/zl Z  
    :/Zh[Q@EG  
    谢谢,大神的指教,与MGF2搭配好,还是SIO2更好了。
    离线rexchou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-30
    能量需要比較高(跟Ti比起來) ?+_"2XY  
    鍊藥不用通氧、製程要 ;T(^riAEl  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 '?4[w]0J<  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2 o!&*4>tF  
    Rh^$0Q*2  
    5lbh "m=  
    X} 8U-N6)  
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-30
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) \]D;HR`vo  
    鍊藥不用通氧、製程要 )8_0d)  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 K|&y?w  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2
    ....... (2018-08-30 11:38)  K:0RP?L  
    Kj7Osqu2bE  
    谢谢,大神指教
    离线johnyu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-09-03
    之前做過的經驗是 -%A6eRShk  
    O =fT;&%.  
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) 4xlsdq8`t  
    `U1"WcN  
    要通氣體 + ion beam `4o;Lz~  
    Vo\d&}Q  
    不能融溶表示功率不太夠 1Dbe0u  
    h ( Z7a%_  
    加油 'K`)q6m  
    } E=mZZ)  
    1条评分光币+1
    rexchou 光币 +1 优秀文章,支持! 2018-09-04
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-09-07
    回 johnyu 的帖子
    johnyu:之前做過的經驗是
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
    要通氣體 + ion beam n\d-^ml  
    ....... (2018-09-03 16:10)  FzNs >*  
    M*t{?o/t;  
    谢谢,大神