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    [求助]HFO2材料有谁用过? [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-08-23
    各位大神,请教一下,关于HFO2这个镀紫外的材料,这个材料需要欲融和通氧气吗?怎么融不成液态的呢? ]n!pn#Q  
    !X#=Pt[,  
    HFO2和MGF2搭配好,还是和SIO2搭配好呢?哪个更好呢! NP|U |zn  
    c{&sf y  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-24
    融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 Le_?x  
    加大电流或者减小光斑试试看。
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-08-25
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 #L[Atx  
    加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  t"JfqD E  
    _ jF, k>F  
    谢谢,大神的指教
    离线yzhuang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-08-27
    需要充氧,40SCCM或更多
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-08-27
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  x4r\cL1!  
    pIXbr($  
    谢谢,大神的指教,与MGF2搭配好,还是SIO2更好了。
    离线rexchou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-30
    能量需要比較高(跟Ti比起來) lyc ]E 9  
    鍊藥不用通氧、製程要 8eCC =Az:  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 Zi<Y?Vm/,O  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2 b1>zGC^|  
    jNd."[IrO  
    i|?EgGFG  
    X0wvOs:  
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-30
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) ^qR2!fwm<  
    鍊藥不用通氧、製程要 )SjhOvm  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 WlJ=X$  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2
    ....... (2018-08-30 11:38)  HgY [Q}7s  
    @*>kOZ(3  
    谢谢,大神指教
    离线johnyu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-09-03
    之前做過的經驗是 k.5(d.*(  
    n5qg6(Tl]  
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) od=x?uBVd  
    BG&XCn5g|  
    要通氣體 + ion beam  WPu-P  
    9'" F7>d  
    不能融溶表示功率不太夠 #Ch*a.tI@  
    |^09ny|  
    加油 -xVp}RLT  
    K HO@"+  
    1条评分光币+1
    rexchou 光币 +1 优秀文章,支持! 2018-09-04
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-09-07
    回 johnyu 的帖子
    johnyu:之前做過的經驗是
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
    要通氣體 + ion beam Whl^~$+f  
    ....... (2018-09-03 16:10)  jB"IJ$cD  
    !O 0{ .k  
    谢谢,大神