[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ 1!0BE8s"@  
kG@1jMPtQ  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ f*bs{H'5  
X 4;+`  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 '~<D[](/F  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 g\,pZ]0i  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22) 
Vof[yL `  

C-V,3}=*2  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  Oy EOb>  

_/V<iv  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) lCafsIB  
鍊藥不用通氧、製程要 gy5^JL  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 Lb]!TOl  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 ~:FF"T>  
5 EhOvt8  
La>fvm  
^_\S)P2c  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) @;G%7&ps  
鍊藥不用通氧、製程要 oI5^.Dr FW  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 7{tU'`P>  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  m\oxS;fxWi  

<(t{C8>g%  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 OHwH(}H?  
}vU^gPH  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) ykRd+H-t  
EERCb%M8Z  
要通氣體 + ion beam L#?mPF  
k]A=Q  
不能融溶表示功率不太夠 1LaJ hrp?  
w`EC6ZN  
加油 Pv=]7>e  
._]*Y`5)d  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam 6mIeV0Q'  
....... (2018-09-03 16:10)  xT( pB-R  

}A[5\V^D*  
谢谢，大神