[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ wiE'6CM  
jVxX! V  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ Zk .V   
+jifbf-  

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 }r _d{nhi  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 >|!s7.H/J/  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  "1X@t'H38  

;E0aTV)Zp  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  |yT-N3H@  

C % d  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) V_.n G;  
鍊藥不用通氧、製程要 <ic%c/mN  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 H/Wo~$  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 P*M$^p
  
T+9#&  

cI g|sn  
&N^^[ uG  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) le*1L8n$'  
鍊藥不用通氧、製程要 axRzn:f  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 L;n2,b  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  NVTNjDF%s  

z&"-%l.b@}  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 [I`r[u  
C3Hq&TVf/  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) n.[0#Ur&}  
m]bv2S+5y  
要通氣體 + ion beam G%a8'3d,  
:y?xS  
不能融溶表示功率不太夠
k \|[=  
}HM8VAH  
加油 T:$zNX<f  
e$k]z HlQ  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam \
|Pp%U [  
....... (2018-09-03 16:10)  ?5e:w?&g@  

6P=6E  
谢谢，大神