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    [求助]HFO2材料有谁用过? [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-08-23
    各位大神,请教一下,关于HFO2这个镀紫外的材料,这个材料需要欲融和通氧气吗?怎么融不成液态的呢? wjGD[~mB  
    |,c\R"8xS  
    HFO2和MGF2搭配好,还是和SIO2搭配好呢?哪个更好呢! 1*aw~nY0  
    f8um.Xnp6  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-24
    融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 .^BL7  
    加大电流或者减小光斑试试看。
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-08-25
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 k.b->U  
    加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  vvEr}G  
    BfmSM9  
    谢谢,大神的指教
    离线yzhuang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-08-27
    需要充氧,40SCCM或更多
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-08-27
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  ~N{ 7  
    >z&|<H%  
    谢谢,大神的指教,与MGF2搭配好,还是SIO2更好了。
    离线rexchou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-30
    能量需要比較高(跟Ti比起來) 2<18j  
    鍊藥不用通氧、製程要 eUa2"=M  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 /5@4}m>Z@  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2 ``l7|b jJ  
    P2lDi!q|  
    IhIPy~Hgt  
    u 3&9R)J1  
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-30
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) )QeXA )  
    鍊藥不用通氧、製程要 3hN.`G-E  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 **].d;~[l  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2
    ....... (2018-08-30 11:38)  j,HUk,e^&  
    >?pWbL  
    谢谢,大神指教
    离线johnyu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-09-03
    之前做過的經驗是 fV 6$YCf  
    eU[f6OGqC  
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) ,KM-DCwcG  
    E3p3DM0F$  
    要通氣體 + ion beam :^G;`T`L  
    Lc0 U-!{G  
    不能融溶表示功率不太夠 }qqE2;{ND  
    zOkIPv52~  
    加油 2+Y 8b::  
    dn"&j1@KY  
    1条评分光币+1
    rexchou 光币 +1 优秀文章,支持! 2018-09-04
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-09-07
    回 johnyu 的帖子
    johnyu:之前做過的經驗是
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
    要通氣體 + ion beam D^ E+#a 1  
    ....... (2018-09-03 16:10)  +2}aCoL\  
    ?pT\Ft V  
    谢谢,大神