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    [求助]HFO2材料有谁用过? [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-08-23
    各位大神,请教一下,关于HFO2这个镀紫外的材料,这个材料需要欲融和通氧气吗?怎么融不成液态的呢? o*OYZ/_L  
    ' b41#/-  
    HFO2和MGF2搭配好,还是和SIO2搭配好呢?哪个更好呢! [@"~'fu0  
    FncK#hZ.  
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-24
    融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 K|Sh  
    加大电流或者减小光斑试试看。
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-08-25
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 %s&"gWi  
    加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  $U*b;'o  
    qDlh6W?}k  
    谢谢,大神的指教
    离线yzhuang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-08-27
    需要充氧,40SCCM或更多
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-08-27
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  M <K}H8?  
    2{A/Fbk  
    谢谢,大神的指教,与MGF2搭配好,还是SIO2更好了。
    离线rexchou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-30
    能量需要比較高(跟Ti比起來) z)fg>?AGr  
    鍊藥不用通氧、製程要 7J|e L yj  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 7e/K YS+!s  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2 f^[u70c82  
    a=r^?q'/  
    |>dqZ_)v  
    Ou5,7Ne  
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-30
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) 6^v HFJ$  
    鍊藥不用通氧、製程要 4kdQ h]  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 XE.Y?{,R$  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2
    ....... (2018-08-30 11:38)  "bk'#?9  
    &dvL`  
    谢谢,大神指教
    离线johnyu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-09-03
    之前做過的經驗是 N cnL-k.  
    h;`]rK;g  
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) t*cVDA&K  
    EE[JXoke  
    要通氣體 + ion beam /6d:l>4  
    3m59EI-p  
    不能融溶表示功率不太夠 iJem9XXb  
    1)N{!w`  
    加油 {wyf>L0j  
    G2e0\}q  
    1条评分光币+1
    rexchou 光币 +1 优秀文章,支持! 2018-09-04
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-09-07
    回 johnyu 的帖子
    johnyu:之前做過的經驗是
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
    要通氣體 + ion beam ]E/~PV  
    ....... (2018-09-03 16:10)  K@UQ O  
    -Bl !s^-'  
    谢谢,大神