[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ Kd\0nf6  
I7ao2aS  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ O. * 0;5  
i)i>Ulj*i  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 *^?tr?e%I<  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 "uH>S+%|b  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  L;V8c  

bQ*yXJ^8  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  C8m9H8Qm  

E+]}KX:  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) v]k-xn|$j  
鍊藥不用通氧、製程要 -Q20af-  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 @:>]jp}uq  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 D,")n75  
n\+c3  
0he3[m}Nr  
X
.b8qbnq[  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) qU#A,%kcV  
鍊藥不用通氧、製程要 uqcG3Pi  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 _WNbuk0  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  2B4.o*Q\  

syr0|K[  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 vP,pK=5  

T8m]f<  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) = 9Yfo,F  
`LoRudf_`  
要通氣體 + ion beam (RI)<zaK ;  
3u
j|jwL  
不能融溶表示功率不太夠 #U-y<[ 3  
"3VX9{'%@  
加油 fBh"  
2Rw<0.i|  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam "&XhMw4  
....... (2018-09-03 16:10)  a(IE8:yU`  

A]Hz?i  
谢谢，大神