[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ qBWt(jY  
+*$@ K'VL  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ ~g;lVj,N'  
k#/%#rQM  

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 [Ma d~;  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 vUXas*s4  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  Wl:vO^  

:3# t;  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  72qbxPY13h  

t0*JinKI  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) Sq,ZzMw  
鍊藥不用通氧、製程要 x?0ZzB),  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 LHjGlBy  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 >y%*HC!G  
)x1LOMe  
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,}i`1E1=  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) i;!#:JX  
鍊藥不用通氧、製程要 r=
YprVX  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 a=3?hVpB  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  C<Q;3w`#1j  

.[Ezg(U}ze  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 `4E6&&E+S  
X!r9  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) Tdvw7I-q  
G%N3h'zDi  
要通氣體 + ion beam e>W}3H5w0  
W#1t%hT$  
不能融溶表示功率不太夠 C"w>U  
vr#_pu)f4  
加油 N- E)b  
KCG-&p$v@s  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam mx`C6G5  
....... (2018-09-03 16:10)  zqqu7.`  

d^5OB8t  
谢谢，大神