[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ !Q?4sAB  
jLEU V  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ mq "p"iI  
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融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 pjoI};  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 4f1*?HX&  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  sI.Ezuw  

LPXwfEHOm  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  ;8ugI  

x=9drKIw>  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) B1\}'g8%f  
鍊藥不用通氧、製程要 {Z$Aw4a"d  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 g }5lGz4  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 {wK98>$a  
N U\B  
meE&, {  
q.~_vS%  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) nvY%{Zf$}  
鍊藥不用通氧、製程要 G9v'a&  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 3dheT}XV?p  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  41Ga-0p  

A{NKHn>%`  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 03
pD<  
LuW>8K\  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) vbBNXy/  
RISDjU3  
要通氣體 + ion beam WoV"&9y  
05>mRqVL  
不能融溶表示功率不太夠 }uR[H2D`L  
qTZ\;[CrP"  
加油 Ms=5*_J2Jk  
2JdzeJb  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam kQ]4Bo  
....... (2018-09-03 16:10)  fH@cC`  

@d5$OpL$%  
谢谢，大神