[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ z{R Mb  
py$Gy-I~[  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ I>MLI=[Kg  
ZZi9<g1  

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 .9DhD=8aIO  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 \g;-q9g;O  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  "Kn%|\YL@4  

DmpD`^?-L  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  "nEfk{g  

V*w~Sr%  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) 2jiH&'@  
鍊藥不用通氧、製程要 \hr2#!  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 `8sC>)lrwu  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 +#V.6i  
1ms(03dp  
1rLK1X  
\7U'p:h=U  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) i)=dp!Bx^  
鍊藥不用通氧、製程要 !(nFq9~~Q  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 4#Cm5xAt6  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  RcpKv;=iB  

HIsB)W&%@  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 a?1Ml>R6P  
A Qm!7,  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) 1w}DfI  
rcUJOI  
要通氣體 + ion beam JIU8~D  
k7)<3f3&S.  
不能融溶表示功率不太夠 ]=vRjw  
wu~?P`  
加油 <~}NxY\5  
$SfYO!n7Q  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam E=]$nE]b  
....... (2018-09-03 16:10)  O'S9y  

UV\&9>@L  
谢谢，大神