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    [求助]HFO2材料有谁用过? [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-08-23
    各位大神,请教一下,关于HFO2这个镀紫外的材料,这个材料需要欲融和通氧气吗?怎么融不成液态的呢? " <*nZ~nE)  
    ~T&% VvI  
    HFO2和MGF2搭配好,还是和SIO2搭配好呢?哪个更好呢! H`?* bG  
    |1i]L@&  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2018-08-24
    融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 9iK&f\#5H  
    加大电流或者减小光斑试试看。
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    只看该作者 2楼 发表于: 2018-08-25
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 5?Uo&e  
    加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  eVZa6la"  
    *Kp}B}}J  
    谢谢,大神的指教
    离线yzhuang
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    只看该作者 3楼 发表于: 2018-08-27
    需要充氧,40SCCM或更多
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    只看该作者 4楼 发表于: 2018-08-27
    回 yzhuang 的帖子
    yzhuang:需要充氧,40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  t'=~"?T/o  
    vYMbson}  
    谢谢,大神的指教,与MGF2搭配好,还是SIO2更好了。
    离线rexchou
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    只看该作者 5楼 发表于: 2018-08-30
    能量需要比較高(跟Ti比起來) )Py+jc.  
    鍊藥不用通氧、製程要 -YRL>]1  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 3U9+l0mBa  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2 soqNzdTB2  
    2;?wN`}5g=  
    S!I <m&Cgc  
    IjB*myN.  
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    只看该作者 6楼 发表于: 2018-08-30
    回 rexchou 的帖子
    rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) <QW1fE  
    鍊藥不用通氧、製程要 a~eLkWnh<k  
    之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 f, j(uP  
    之前做紫外的AR 搭配是SIO2
    ....... (2018-08-30 11:38)  ^sn>p}Tg  
    ;s B:s9M  
    谢谢,大神指教
    离线johnyu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2018-09-03
    之前做過的經驗是 /?-p^6U  
    `1}?{ud  
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) s!fY^3  
    +X(^Q@  
    要通氣體 + ion beam {UC<I.5X  
    z.Kq}r^  
    不能融溶表示功率不太夠 >rS<!e%  
    -/2$P  
    加油 gw"l& r  
    4bi\$   
    1条评分光币+1
    rexchou 光币 +1 优秀文章,支持! 2018-09-04
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    只看该作者 8楼 发表于: 2018-09-07
    回 johnyu 的帖子
    johnyu:之前做過的經驗是
    hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
    要通氣體 + ion beam A"VXs1>_^  
    ....... (2018-09-03 16:10)  F+S#m3X  
    A8(PI)Ic.  
    谢谢,大神