[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ ?1.WF}X'  
mJ>msI @  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ ]|_UpP8EP  
6PyW(i(bs  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 A~
X| vW  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 rk47$36X  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  x)pR^t7u8  

d@tf+_Ih  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  K4o']{:U  

.wUnN8crQ  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) AZ4
:3}  
鍊藥不用通氧、製程要 4=`1C-v?q  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 &y7=tEV  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 !I\eIV>0b  
Pa#Jwo  
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3KAJ@  
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rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) E@l@f
 
鍊藥不用通氧、製程要 "jq6FT)O  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 BLt_(S?Z`  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  m(5LXHJnv  

\<y|[   
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 jd"YaZOQ  
up~p_{x)Q  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) m1tc="j  
#"H<k(-Cz  
要通氣體 + ion beam gF;C% }  
j.V
7`x  
不能融溶表示功率不太夠 Y9%zo~]-W'  
=NPo<^Lae  
加油 i\4dd)p-  
sebm  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam ):5H,B+Vr&  
....... (2018-09-03 16:10)  h)X"<a++N  

*1U"uJno  
谢谢，大神