[求助]HFO2材料有谁用过？ [复制链接]

各位大神，请教一下，关于HFO2这个镀紫外的材料，这个材料需要欲融和通氧气吗？怎么融不成液态的呢？ $GYcZN&  
F\Ex$:%~  
HFO2和MGF2搭配好，还是和SIO2搭配好呢？哪个更好呢！ =ex71qj)  
Y:/z)"u,C  

描述:材料欲融状态

图片:微信图片_20180823113440.jpg

融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 1pVagLlb:7  
加大电流或者减小光斑试试看。

ouyuu:融不成液态的显然是电子枪电流密度不够。 yuIy?K  
加大电流或者减小光斑试试看。 (2018-08-24 23:22)  -5vg"|ia,  

(7Su{tq  
谢谢，大神的指教

需要充氧，40SCCM或更多

yzhuang:需要充氧，40SCCM或更多 (2018-08-27 10:31)  hZIbN9)8A  

Y{KN:|i.!  
谢谢，大神的指教，与MGF2搭配好，还是SIO2更好了。

能量需要比較高(跟Ti比起來) ke<l@wO  
鍊藥不用通氧、製程要 Ddh  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 g es-nG-  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2 dvE~EZcS  
&( ZEs c  
#.<Dq8u  
:jAsm[  

rexchou:能量需要比較高(跟Ti比起來) Bw<$fT`  
鍊藥不用通氧、製程要 ~iIFe+6  
之前做過 溫度要控制 不然會有吸收 [f
Jxbr"  
之前做紫外的AR 搭配是SIO2
....... (2018-08-30 11:38)  -%Jm-^F I  

t Kjk<  
谢谢，大神指教

之前做過的經驗是 9?|m ^  
[
C3wjYi  
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好) }]pOR&o  
cr!sq.)s  
要通氣體 + ion beam $wcV~'fM  
G[ q<P  
不能融溶表示功率不太夠 9x1
4I2  
OSK:Cb.-?F  
加油 $cGV)[KWp@  
ZO\bCrk  

johnyu:之前做過的經驗是
hfo2 與 sio2 做疊層 (折射率差距越大越好)
要通氣體 + ion beam nYO4JlNP  
....... (2018-09-03 16:10)  
}Z\PE0  

V s1Z$HS`  
谢谢，大神