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    [求助]问题:用晶振片测膜厚 [复制链接]

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    离线zxp791
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-01-11
    最近在镀膜机上新装了一台晶振测膜仪,Inficon 074-186S XTM2 OM。总共用了2次,出现同样的问题,在开始镀膜的1分钟内,运作正常,显示屏显示镀膜的速率和膜厚,但不超过1分钟,显示屏上就会出现晶振片错误的信息(crystall fail),同时真空室中晶振片的盖子通过气动自动盖上。如果我再从新启动一下膜厚仪,又可以工作,大概也还是1分钟左右的时间,又会出现象上面同样的错误,真的不知道问题出在哪里??? 8so}^2hTlT  
    还有1个就是Z系数的值,因为我镀的是Cr膜,跟着膜厚仪过来的使用说明书里附的表格说对于镀Cr设定的Z-Ratio值是0,305。 但我上次从一个论坛里看到一位大侠说一般镀单层膜在膜厚不超过1000nm时,Z-Ratio设置为1。我也不知道哪个对。 iPNs EQ0We  
    写的比较罗嗦,呵呵。 o;/F=Zp  
    急盼解答,先谢过!!!
     
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    离线z1w2f3
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    只看该作者 1楼 发表于: 2007-01-11
    如果排除接触性问题,可能是散热不好,造成失振.
    离线cavort
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    只看该作者 2楼 发表于: 2010-08-06
    要么探头接触不好,要么探头水冷不够,后都居多。