近边X射线吸收精细结构（NEXAFS）谱包含了吸收原子的局域结构信息，由于其适用范围广，灵敏度高，已经成为研究物质结构的重要手段之一。为了研究有机物的碳1s NEXAFS谱，本文基于气体激光等离子体X射线光源，采用具有平场特性的凹面变线距光栅作为分光元件，面阵CCD作为光谱探测器，设计了一台小型掠入射式近边X射线吸收谱仪。通过优化光栅和CCD的装配方案，得到了入射角88.6°的装配参数。利用光线追迹法分析了谱仪的分辨率，该谱仪工作波段2~5 nm，在4.4 nm处分辨率可达666。通过分析各结构参量误差对谱线半高宽的影响发现，半高宽对入射角的误差最为敏感，优化的装配方案可以实现入射角的高精度调节。利用氮气等离子体光谱测试了光谱仪的性能，结果显示分辨率达到设计指标。
