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VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统
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楼主
发表于: 2018-04-28
摘要
D]aQt%TL
59SL mj
在
半导体
产业中,晶片检测
系统
用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微
结构
的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的
物镜
,工作在紫外
波长
范围。作为一个例子,
模拟
了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。
50Gu~No6
'jE/Tre^
S^|`*%pq
建模任务
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