切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2169阅读
    • 0回复

    [转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线讯技david
     
    发帖
    94
    光币
    106
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-04-28
    摘要 D]aQt%TL  
    59SL mj  
    半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 50Gu~No6  
    'jE/Tre^  
    S^|`*%pq  
    建模任务 )m8Gbkj<  
    X"`[&l1  
    wme#8/eUk  
    结果 l<4P">M!.  
    0<uLQVoR2n  
    =-/'$7R,  
    结果 Q(aNa!  
    ,xrA2  
    B6TE9IoSb8  
    结果 y4|<+9<7  
    ):Z #!O<  
    v?6*n >R  
    文件信息 GYb&'#F~t  
    YU+P+m2X  
    "s]  
    Best wishes,
    4I2:"CK06  
    行销部 17621763047(微信同号) : OjmaP  
    --------------------------------------------------------------------- 0QPY+6  
    讯技光电科技(上海)有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技(香港)有限公司 z^T;d^OJc  
    上海市普陀区武威路88弄(中鑫企业广场)21号楼A座2楼邮编:200333  E^5  
    Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号:17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 fibudkg'>  
    Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com )p;t '*]  
    --------------------------------------------------------------------- Whp`\E< <  
    讯技光电2018年度课程上线,欢迎点击以下链接查阅,或来信索取完整版年度课程PDF档: Akc |E!V  
    http://www.honglun-seminary.com/2018/ oH v.EO  
     
    分享到