[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 u|
8`=  
ClVMZ  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 KfWVz*DC!  
,i*^fpF`F"  
ffm19B=  
建模任务 5yxZ 5Ni!  
6Om-[^  
?b8NEVjw  
结果 Ks X@e)8u  
.,m$
Cm  
)KBv[|  
结果 +#Ov9b  
giaO7Qh~  
结果 )CdglPK  
MQ\:/]a  
[(ty{  
文件信息 8CA4gnh  
]X?+]9Fr  
|nD2k,S<?  
Best wishes, 'Q(A5zfN]Y  
行销部 17621763047（微信同号） tMyD^jVC  
--------------------------------------------------------------------- m(g$T  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 7Zu!s]t  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 zG& N5t96X  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 wM!QU{Lz  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com c}v:X Slh7  
--------------------------------------------------------------------- ItOVx!"@9  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: >%[(C*Cks  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ G =< KAJ