[转载]VLF技术文章——用于微结构晶片检测的光学系统 [复制链接]

摘要 ~s Hd
OMw  
{u1|`=;  
在半导体产业中，晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度，检测系统常使用一个高NA的物镜，工作在紫外波长范围。作为一个例子，模拟了一个完整的晶片检测系统，包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用，并演示了图像的形成。 MjC<N[WO>N  
k $^/$N  
yVK ; "  
建模任务 ZOV,yuD{8{  
er3~gm  
IL.bwtpQD  
结果 ,%IP27bPW  
`Ze$Bd\  
G2I%^.s  
结果 ^z)De+,!4  
|wuTw|  
结果 ma*#*4  
h]&  
(!{*@?S  
文件信息 i&6U5Va,G  
unn
2I|XH  
Jaw1bUP!oK  
Best wishes, 1PdG1'  
行销部 17621763047（微信同号） :~"myn,  
--------------------------------------------------------------------- vf.MSk?~ar  
讯技光电科技（上海）有限公司/上海讯稷光电科技有限公司/讯稷光拓科技（香港）有限公司 J{\Uw].|0  
上海市普陀区武威路88弄（中鑫企业广场）21号楼A座2楼邮编：200333 GV1Ol^  
Tel: +86-21-6486 0708/ 6486 0576/6486 0572 转 809 分机 手机号：17621763047  Fax: +86-21-6486 0709 -d4v:Jab  
Email: david@infotek.com.cn   Web:www.infotek.com.cn  www.infocrops.com ]FVJQS2h  
--------------------------------------------------------------------- '62_q8:  
讯技光电2018年度课程上线，欢迎点击以下链接查阅，或来信索取完整版年度课程PDF档: Het"x  
http://www.honglun-seminary.com/2018/ >fP;H}S6